2016 УДК 54.432 СПЕКТРАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ОПТИЧЕСКОГО ПОГЛОЩЕНИЯ АДСОРБИРОВАННЫХ СЛОЕВ ЛЕТУЧИХ КАРБОНИЛОВ МЕТАЛЛОВ Д.В. <...> Чесноков, Д.С. Михайлова Сибирский государственный университет геосистем и технологий В технологиях лазерно-индуцированного химического осаждения тонких пленок на подложки фундаментальную роль играют процессы адсорбции молекул реагентов из парогазовой фазы на облучаемые поверхности. <...> Скорость осаждения, разрешение процесса при формировании микро- и наностуктур, параметры получающегося осадка определяются состоянием адсорбированного слоя молекул и скоростью его восстановления после каждого лазерного импульса. <...> Исследование спектров оптического поглощения в таких слоях встречается с проблемами в связи с малой величиной поглощения, поглощение необходимо усиливать, для чего в литературе рекомендуется многократно пропускать один и тоже световой поток через адсорбированный слой. <...> В настоящей работе предложен лабораторный метод исследования оптического поглощения мономолекулярных адсорбированных слоев летучих карбонилов металлов с использованием промышленного спектрофотометра СФ-56, который дополняется оптической кюветой, в которой создается атмосфера паров карбонилов и помещается стопа прозрачных пластин: кювета устанавливается в кюветном отделении спектрофотометра. <...> Проведен анализ метрологических параметров кюветы, определено оптимальное значение количества пластин в пакете, помещаемом в кювету для усиления слабого поглощения. <...> В результате разработки и использования оптической кюветы при лабораторных исследованиях обнаружено увеличение оптического поглощения мономолекулярными адсорбированными слоями карбонилов хрома и рения при увеличении температуры подложки от 25 до 85 °С, что можно объяснить переходом молекул из физсорбированного состояния в хемосорбированное. <...> Лазерно-индуцированное химическое осаждение тонких пленок на подложку из паровой <...>