УДК 535.854 МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ В ИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ НА ОСНОВЕ ЛАЗЕРНЫХ ИНТЕРФЕРОМЕТРОВ А. Г. Серкин, В. П. Сизов Разработана и исследована математическая модель процесса измерения малых перемещений на основе лазерных интерферометров с учетом векторного характера лазерного излучения и принципа компарирования Аббе. <...> Теоретически обоснована возможность расширения диапазона измеряемых линейных перемещений и контроля угловых поворотов отражателя. <...> Актуальной задачей метрологии и дефектоскопии является совершенствование методов анализа лазерных интерферометров для создания компактных высокоточных измерителей малых перемещений, которые обобщенно могут быть представлены оптически связанными и последовательно размещенными источником излучения, оптической системой, светоделителем, отражателем и фотоприемным устройством. <...> Перемещение отражателя в таких устройствах вызывает изменение пространственного распределения интенсивности интерференционной картины. <...> Наиболее распространенным инженерным способом анализа интерферометрических устройств является использование скалярной теории, которая, однако, не всегда дает правильное описание процессов оптической интерференции и дифракции. <...> Цель данной работы — разработать методику расчета распределения интенсивности интерференционной картины, учитывая электромагнитный характер дифракции света, особенности схемы и характеристики светоделителя, на основе которой численно исследовать процесс измерения малых перемещений для теоретического обоснования перспективности измерительных преобразователей неэлектрических величин. <...> Возможная схема измерителя малых перемещений пред1 α 2 ∆h y'' x''0 O'' x'' Рис. <...> 1, где светоделитель 1 с известным амплитудным пропусканием расположен в плоскости S, с которой связана декартова система координат x, y, z. <...> Отражатель 2 находится в плоскости Sr, которая составляет <...>