ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ И ТОПОЛОГИЯ ТЕНЗОРЕЗИСТОРОВ В. Я. <...> Распопов ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ Датчики давления конструктивно состоят из чувствительного элемента (ЧЭ), воспринимающего давление, и преобразователей (перемещений, деформации, силы), собранных в корпусе, конструкция которых обладает большим разнообразием. <...> Роль ЧЭ в датчиках давления выполняет пластинка, условно называемая мембраной, как правило, прямоугольная или круглая в плане. <...> Она может быть одинаковой по толщине либо с жестким, недеформируемым центром, имеющим по контуру упругую перемычку. <...> Мембраны датчиков давления прямого преобразования могут быть как без жесткого центра, так и с ним. <...> В первом случае в качестве преобразователей деформаций используются диффузионные или эпитаксиальные тензорезисторы. <...> В мембранах с жестким центром можно применять емкостные, магниторезистивные и другие преобразователи перемещений. <...> В датчиках давления компенсационного преобразования используются мембраны с жестким центром, на котором размещаются элементы преобразователя перемещений и силовые элементы цепи обратной связи электростатического или магнитоэлектрического типа, аналогично акселерометрам. <...> По виду измеряемого давления различают абсолютные (для измерения абсолютного давления), дифференциальные (для измерения разности давлений), относительные (для измерения избыточного над атмосферным давления) и вакуумные (для измерения степени разрежения) датчики давления. <...> Датчики давления выпускаются в виде автономных приборов контроля и управления, а также в виде устройств, используемых в составе других приборов: расходомеров, указателей воздушной скорости, высотомеров, вариометров и др. <...> 1 приведены распространенные формы ЧЭ датчиков давления [1—5]. <...> 1, а, представляет собой плоскую интегральную мембрану с полным тензорезисторным мостом. <...> Чаще всего мембрану выполняют из n-кремния ориентации (100) прямоугольной <...>