Таким образом, на основании исследований электрических и газочувствительных свойств тонких пленок SnO2—Sb (0,8 ат. %) выбраны оптимальные технологические режимы процесса реактивного распыления металлической мишени и стабилизационного термического отжига полученных пленок. <...> Определена оптимальная толщина сенсорного слоя, соответствующая условиям технологической устойчивости процесса и обеспечивающая достаточную газовую чувствительность образцов. <...> Исследованы свойства газового датчика с сенсорным слоем, полученным в выбранных оптимальных режимах. <...> Определена рабочая температура датчика и исследована зависимость величины адсорбционного отклика датчика от концентрации паров этилового спирта в воздухе. <...> В исследованном диапазоне концентраций газовый датчик имеет величину адсорбционного отклика, достаточную для разработки на его основе электронных приборов индикации и контроля состава газовых сред. <...> Формирование структуры газочувствительных слоев диоксида олова, полученных магнетронным распылением // Физика и техника полупроводников. <...> Химические газовые сенсоры в диагностике окружающей среды // Сенсор. <...> Моделирование процесса низкотемпературного получения газочувствительных пленок оксида олова / Журнал технической физики. <...> Особенности конструкции и технологии изготовления тонкопленочных металлооксидных интегральных сенсоров газов // Сенсор. <...> Термостабилизация микроэлектронных датчиков газов // Твердотельная электроника и микроэлектроника: Межвуз. сб. научн. тр. <...> Работа выполнена на кафедре ППЭ Воронежского государственного технического университета (ВГТУ). <...> УДК 621.3.011.712 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СХЕМЫ ЗАМЕЩЕНИЯ ДВУХЭЛЕМЕНТНЫХ ДАТЧИКОВ В. Г. Евсеев, Ю. М. Крысин Предложено устройство, реализующее способ определения схемы замещения двухэлементных двухполюсников. <...> Работа устройства основана на том, что, воздействуя синусоидальным сигналом на исследуемый двухполюсник, включенный <...>