Результаты, даваемые векторноаналитическим способом расчета, свидетельствуют о целесообразности создания программного обеспечения для автоматического расчета погрешности данным методом с использованием базы данных значений метрического тензора для разных доверительных вероятностей и законов распределения. <...> Валерий Дмитриевич Мазин — д-р техн. наук, профессор Санкт-Петербургского государственного политехнического университета (С-Пб ГПУ); (812) 297-60-01 E-mail: masin@list.ru Алексей Николаевич Чепуштанов — аспирант С-Пб ГПУ, сотрудник ООО “Мониторинг” (812) 327-57-55 E-mail: can_c@mail.ru УДК 53.082.731 МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ СТРУКТУР КНС. <...> Козлов, А. В. Пирогов, В. М. Стучебников Методом конечных элементов проведен расчет напряженного состояния поверхности чувствительных элементов (ЧЭ) на основе структур КНС в двухслойных тензопреобразователях (ТП) давления одномембранного типа и соответствующих изменений сопротивления тензорезисторов, расположенных на ЧЭ. <...> Результаты расчета хорошо согласуются с экспериментальными данными и могут быть использованы для оптимизации характеристик ТП. <...> Тензопреобразователи (ТП) давления на основе тензочувствительных элементов, изготовленных из гетероэпитаксиальных структур “кремний на сапфире” (КНС), обладают рядом преимуществ в сравнении с другими микроэлектронными тензорезисторными преобразователями [1]. <...> В таких ТП чувствительный элемент (ЧЭ) жестко соединен с титановой упругой мембраной, выполненной заодно с кольцевым основанием. <...> Упругая мембрана воспринимает либо непосредственно давление измеряемой среды, либо усилие от приемной мембраны, соединенной с упругой мембраной штоком (рис. <...> Такая конструкция позволяет выпускать ТП на различные пределы измерения (в ПГ МИДА — от 4 кПа до 250 МПа [2]), используя один и тот же плоский чувствительный элемент из КНС и изменяя лишь геометрию упругой и приемной мембран. <...> Вместе с тем эти размеры должны <...>