Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 635836)
Контекстум
Руконтекст антиплагиат система
Датчики и системы. Sensors & Systems  / №3 (118) 2009

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ. КЛАССИФИКАЦИЯ И ОБОЩЕННЫЕ СИСТЕМНЫЕ МОДЕЛИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ (150,00 руб.)

0   0
Первый авторБелозубов
АвторыБелозубова Н.Е., Васильев В.А.
Страниц6
ID600873
АннотацияРассмотрены тонкопленочные тензорезисторные и емкостные микроэлектромеханические системы (МЭМС), предложена их классификация, представлены обобщенные системные модели тонкопленочных емкостных датчиков давления при их использовании в качестве чувствительных элементов соответствующих МЭМС
УДК531.787.084.2:629.735
Белозубов, Е.М. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ. КЛАССИФИКАЦИЯ И ОБОЩЕННЫЕ СИСТЕМНЫЕ МОДЕЛИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ / Е.М. Белозубов, Н.Е. Белозубова, В.А. Васильев // Датчики и системы. Sensors & Systems .— 2009 .— №3 (118) .— С. 6-11 .— URL: https://rucont.ru/efd/600873 (дата обращения: 15.05.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Опциональные параметры существенно влияют на быстродействие и точность работы алгоритма, особенно при выборе полинома высокой степени. <...> Так, время поиска полинома наилучшего приближения 5-го порядка для функции sinx на отрезке x ∈ [0; π] (iterations = 7, intervals = 4, процессор Intel Celeron 2ГГц) составляет 11 мин 38 с. <...> Применение формулы (2) как исходной, а также соотношений (8) и (9) показало хорошие результаты подбора полинома наилучшего приближения и целесообразность применения алгоритма для аппроксимации непрерывных функций на конечном интервале. <...> Разработанный алгоритм может быть использован в технических расчетах для поиска полиномов наилучшего приближения функций и градуировочных характеристик измерительных систем. <...> КЛАССИФИКАЦИЯ И ОБОЩЕННЫЕ СИСТЕМНЫЕ МОДЕЛИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ НА ИХ ОСНОВЕ Е. М. <...> Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев Рассмотрены тонкопленочные тензорезисторные и емкостные микроэлектромеханические системы (МЭМС), предложена их классификация, представлены обобщенные системные модели тонкопленочных емкостных датчиков давления при их использовании в качестве чувствительных элементов соответствующих МЭМС. <...> Тонкопленочные микроэлектромеханические системы (ТМЭМС) достаточно широко используются в качестве чувствительных элементов датчиков различных физических величин [1]. <...> Отличительной особенностью современных ТМЭМС является возможность работы в экстремальных условиях эксплуатации, часто недоступных для других систем. <...> Например, рабочий диапазон температур датчиков давления, 6 Sensors & Systems · ¹ 3.2009 построенных на основе ТМЭМС, находится в пределах от –253 до +300 °C. <...> Поэтому датчики давления на основе ТМЭМС нашли самое широкое применение в ответственных системах телеметрии и управления. <...> В настоящее время для этих целей наиболее широко используются два достаточно больших класса ТМЭМС: тонкопленочные тензорезисторные МЭМС (ТТМЭМС) и тонкопленочные емкостные МЭМС (ТЕМЭМС). <...> Принцип действия <...>