КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 621.777.4:681.586 ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВОЙ АППАРАТУРЫ Е. В. <...> Ефремов Рассмотрены технологические возможности изготовления ответственных деталей и узлов датчиков: технология формирования микроструктуры сплавов специального назначения, позволяющая изготавливать тонкие мембраны с необходимым количеством целых, неразрушенных зерен по объему мембраны; преимущества электроэрозионной обработки при формировании тонких мембран с микростуктурой без трещин. <...> Кратко описана технология формирования упругих перемычек детали “маятник”. <...> К оборудованию, ответственному за жизнь человека, в особенности к датчиковой аппаратуре, предъявляют жесткие требования к их качеству, массе и габаритам. <...> Крупногабаритные некомпактные устройства обработки полученной информации уступают место более маленьким, которые, несмотря, а иногда и благодаря своим размерам, более точные. <...> Особенности технологии изготовления таких деталей, как элемент воспринимающий, маятник, балка и других, вытекают из особенностей их работы в составе датчика. <...> Однако такие материалы не решают все вопросы, так как практически все они имеют кристаллическую структуру и зерновой состав микроструктуры. <...> Отдельные зерна металла имеют различные свойства по количественному, а иногда и качественному содержанию, а иногда даже не имеют некоторых химических элементов, присущих всему сплаву в целом. <...> При таких размерах детали зерна материала начинают “работать” как отдельный конструктивный элемент, в то время как расчеты датчика ведутся для идеальных случаев, Sensors & Systems · ¹ 7.2010 т. е. когда материал принимается как монолитная структура без различных разрушений, возникающих при стандартных методах обработки. <...> Необходимость принятия в расчет микроструктуры металла показана на рис. <...> Размер зерна, приведенного на рисунке, составляет 60.250 мкм, а расстояние Н, ограниченное <...>