УДК 681.586.772.57.086.3 ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СХЕМЫ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ СИСТЕМ НАНОПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ СКАНИРУЮЩИХ ЗОНДОВЫХ МИКРОСКОПОВ В. В. <...> Мещеряков, А. В. Мещеряков Рассмотрены источники погрешностей измерительных схем емкостных датчиков системы позиционирования сканирующих зондовых микроскопов и способы увеличения разрешения в таких схемах. <...> Ключевые слова: емкостной датчик перемещения, сканирующий зондовый микроскоп, система нанопозиционировния. <...> Получение изображения в сканирующих зондовых микроскопах (СЗМ) производится путем построчного сканирования поверхности образца зондом, причем взаимное перемещение образца и зонда осуществляется специальным устройством (сканером или нанопозиционером). <...> В сканирующей зондовой микроскопии применяются, как правило, либо пеьзокерамические актюаторы трубчатого типа, использующие боковой изгиб и удлинение тонкостенного цилиндра из пьезокерамики с разрезными многосекционными электродами, либо пьезостолы на основе “стэковых” конструкций, состоящие из большого числа пьезопластин [1]. <...> Вместе с тем, обоим перечисленным типам сканеров присущи общие недостатки [2], связанные с природой пьезокерамических элементов, а именно: — ползучесть (creep) — большая постоянная времени установления механического положения пьезокерамики в зависимости от приложенного напряжения; — гистерезис — различный вид траектории прямого и обратного пути циклической зависимости механического положения от приложенного электрического напряжения; — собственный механический резонанс, частота которого является физическим ограничением при выборе верхней частоты сканирования СЗМ. <...> Линеаризовать характеристики пьезокерамических актюаторов можно путем применения независимых датчиков перемещения и выполнения системы сканирования в виде петли регулирования, обратная связь в которой осуществляется через контроллер управления (как правило, это PI-регулятор). <...> Система сканирования <...>