Работа выполнена на кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ “МИФИ” и компанией ООО “МИФИ-МИКРО”. <...> Юрий Иванович Бочаров — канд. техн. наук, доцент НИЯУ “МИФИ”; (495) 334-91-51, 324-01-84 E-mail: YIBocharov@mephi.ru Владимир Петрович Мирошниченко — ст. научн. сотрудник НИЯУ “МИФИ”; (495) 323-93-84 E-mail: VPMiroshnichenko@mephi.ru Евгений Михайлович Онищенко — канд. техн. наук, вед. научн. сотрудник НИЯУ “МИФИ”; (495) 324-01-84 E-mail: EMOnishchenko@mephi.ru Дмитрий Леонидович Осипов — аспирант НИЯУ “МИФИ”; DLOsipov@mephi.ru Александр Владимирович Поляков — инженер НИЯУ “МИФИ”; E-mail: posledny@rambler.ru Андрей Борисович Симаков — канд. техн. наук, ген. директор ООО “МИФИМИКРО”; (495) 323-91-91 E-mail: ABSimakov@mephi.ru Михаил Андреевич Симаков — инженер НИЯУ “МИФИ”; E-mail: microelectronika@rambler.ru Татьяна Анатольевна Сугробова — вед. инженер ООО “МИФИ-МИКРО" (495) 323-91-91 E-mail: TASugrobova@mephi.ru УДК 681.586.54 ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ1 В. Н. Симонов, В. Б. Поляков, А. В. Поляков, О. К. Красильникова Описаны результаты работы над конструкцией и технологией интегральных чувствительных элементов (ЧЭ) пьезорезонансных датчиков давления. <...> В ЧЭ кварцекристаллическая мембрана и тензочувствительный резонатор выполнены из единого кристалла кварца и не содержат соединительных элементов и других материалов. <...> Предлагаемое техническое решение основано на комбинированном использовании механических и химических методов формообразования и позволяет изготавливать датчики с погрешностью на уровне 0,01 %. <...> Ключевые слова: пьезорезонансные датчики, кварц кристаллический, тензочувствительные резонаторы, мембрана, давление, микромашинные методы, химическое травление, алмазное фрезерование, ультразвуковая обработка. <...> Во-первых, кристаллический кварц обладает сильной анизотропией скорости травления: скорость травления в направлении осей X и Y в сотни раз ниже, чем в направлении оси Z, это делает практически невозможным изготовление трехмерных структур методом только химического <...>