УДК 621.3.049.774.62-21.008.6 НЕРАЗРУШАЮЩИЕ МЕТОДЫ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОЛИЧЕСТВА ВЛАГИ В ПОДКОРПУСНОМ ОБЪЕМЕ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ М. И. <...> Горлов, А. В. Строгонов, Н. А. Шишкина, Е. П. Самцов Предложены неразрушающие методы определения количества влаги в подкорпусном объеме интегральных схем по влагозависимым электрическим параметрам и метод сплошного контроля схем на соответствие содержания влаги требованиям общих технических условий. <...> Ключевые слова: неразрушающие методы, интегральная схема, пары воды, подкорпусной объем, точка росы. <...> Для определения содержания влаги внутри корпусов интегральных схем (ИС) часто используются выборочные разрушающие методы контроля влаги: масс-спектроскопический и проводимый с помощью датчиков влажности, смонтированных в корпусе вместо кристалла ИС [1]. <...> Однако серийное производство ИС иногда требует сплошного контроля ИС по содержанию влаги внутри корпусов или получения заключения о том, что уровень содержания влаги внутри корпуса не превышает допустимого. <...> Это требует разработки неразрушающих методов контроля содержания влаги в подкорпусном объеме ИС, которые позволили бы в необходимых случаях проводить сплошной контроль партии ИС по содержанию влаги внутри корпуса. <...> ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОЛИЧЕСТВА ВЛАГИ В ПОДКОРПУСНОМ ОБЪЕМЕ ИС ПО ВЛАГОЗАВИСИМЫМ ПАРАМЕТРАМ Наиболее просто в подкорпусном объеме ИС измерить точку росы влаги, если возможно выделить по выводам схемы какой-либо элемент, например диод, как делалось в первых отечественных ИС диодно-транзисторной логики (ДТЛ) серии 104. <...> Например, в ИС типа 106ЛБ1, представляющую собой два элемента 3И-НЕ с возможностью расширения по ИЛИ (рис. <...> 1) (транзисторно-транзисторная логика, ТТЛ), диод, образуемый база-коллекторным переходом, можно измерить по выводам 9, 10 и 13, 12, а по выводам 11, 13 можно измерить обратный ток, проходящий через переход “эмиттер — база” с сопротивлением в цепи базы. <...> Считается, что элементы ИС могут служить датчиками влажности <...>