УДК: 621.3.049.776.41 К содержанию МЕТАЛЛООКСИДНЫЙ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК С ПОВЫШЕННОЙ СЕЛЕКТИВНОСТЬЮ К АММИАКУ Н. Н. <...> Самотаев, Б. И. Подлепецкий, А. А. Васильев, А. В. Писляков, А. В. Соколов Представлены метрологические и эксплуатационные характеристики металлооксидного датчика, обладающего повышенной селективностью к аммиаку в присутствии метана, монооксида углерода и паров воды. <...> Особенностью разработки является использование импульсного режима нагрева чувствительного элемента датчика в качестве основного фактора в достижении повышенной селективности к аммиаку. <...> Порог чувствительности к аммиаку, достигнутый в режиме импульсной модуляции температуры, составил 5•10–4 % об. <...> В области анализа газового состава среды существуют задачи, где применение широко распространенных электрохимических сенсоров на жидких электролитах влечет их быстрый отказ, например, вследствие высыхания электролита или при работе в условиях высоких концентраций аммиака. <...> В таких случаях предпочтительно использовать газочувствительные элементы на основе оксидов металлов, несмотря на их недостаточную селективность и относительно высокую потребляемую мощность. <...> Для повышения селективности металлооксидных датчиков предлагается использовать режим нагрева газочувствительного слоя методом быстрой температурной модуляции. <...> Идея этого метода заключается в том, что при помощи специально заданного периодического режима нагрева и охлаждения газочувствительного полупроводникового слоя разделяются во времени быстрые процессы в электронной подсистеме полупроводника и относительно медленные процессы на каталитически активной примеси, внедренной в полупроводник. <...> В данной работе исследовался датчик на основе толстопленочного чувствительного элемента (ЧЭ), выполненного по технологии трафаретной печати. <...> Полупроводниковый газочувствительный слой изготовлялся на основе нанодисперсного диоксида олова (удельная <...>