ТЕОРИЯ И ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586.73 ЦИФРОВЫЕ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ НА ОСНОВЕ ИЗМЕРЕНИЯ КООРДИНАТ ИЗОБРАЖЕНИЯ МАРКИ НА СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЙ МАТРИЦЕ ТВ-КАМЕРЫ А. Н. <...> Королев, Г. С. Полищук Рассмотрена концепция разработки оптических цифровых измерительных систем, основанная на измерении координат изображения марки на светочувствительной матрице ТВ-камеры с субмикронной точностью. <...> Показана эффективность такого подхода для создания широкого класса приборов для линейных и угловых измерений. <...> Обсуждаются вопросы, связанные с оптимизацией формы оптической марки и алгоритмов обработки массива видеоданных. <...> Представлены результаты измерений, приведены дополнительные достоинства приборов, особенно важные для измерительной практики. <...> Ключевые слова: CCD-матрица, CMOS-матрица, линейно-угловые измерения, цифровой автоколлиматор, измерения отклонения от прямолинейности, датчик угла. <...> Современное устройство формирования видеосигнала — CCD (CMOS) матрица — с точки зрения метрологии представляет собой совершенно уникальный прибор, который одновременно формирует информационный сигнал и является измерительной шкалой. <...> Матрица светочувствительных элементов современных цифровых фотоаппаратов и ТВкамер является продуктом микроэлектронных технологий и представляет собой двумерную решетку элементов, размеры которых выполнены с погрешностью, не превышающей тысячные доли микрометра. <...> Количество светочувствительных элементов может составлять несколько миллионов при размерах каждого элемента и периода решетки порядка единиц микрометров. <...> Учитывая ортогональную топологию и высокие точности таких структур, целесообразно использовать их для решения прецизионных измерительных задач. <...> При этом различные алгоритмы преобразования массивов виде50 оданных обеспечивают субмикронную точность измерений [1]. <...> Технология таких преобразований лежит в основе разработок широкого класса <...>