Калинина, А. В. Литвинов, И. Н. Николаев Представлено несколько вариантов МДП-сенсоров, изготовленных с помощью технологии лазерного напыления тонких пленок, с различными диэлектрическими слоями и металлическими электродами. <...> Найдены два типа сенсоров — с аномально высокими и низкими чувствительностями к H2, H2S, NO2 и NH3, представляющие практический интерес для использования в качестве чувствительных элементов газоанализаторов. <...> Показано, что наличие каталитических свойств металлических электродов не необходимо для проявления чувствительности сенсоров. <...> Этот факт интересен для будущей микроскопической теории чувствительности МДП-сенсоров. <...> ВВЕДЕНИЕ Разработке и исследованию МДП (металл-диэлектрик-полупроводник) — сенсоров посвящено уже много работ. <...> Такая структура была выбрана довольно случайно, так как технология ее изготовления была хорошо разработана и давно использовалась в микроэлектронике. <...> Для устранения большинства из этих недостатков нами была разработана специальная технология изготовления МДП-структур с помощью лазерного напыления тонких пленок, в частности, использован дополнительный слой диэлектрика (Ta2O5) для устранения пробоя МДП-конденсаторов. <...> [2], а далее изготовлены макеты газоанализаторов на их основе. <...> Так получилось, что подавляющее число исследований проводились на сенсорах со структурами Pd-Ta2O5-SiO2-Si и Pd-SiO2-Si, которые в дальнейшем будем называть “классическими”. <...> Эти сенсоры хорошо себя зарекомендовали в качестве чувствительных элементов газоанализаторов (www.sensor.mephi.ru), но проблема улучшения параметров сенсоров, таких, как чувствительность, быстродействие, ресурс работы, селективность всегда остается актуальной. <...> Естественно предположить, что вариацией материалов, из которых изготавливаются пленочные элементы сенсоров, можно достичь бо ´ льшего разнообразия их харак20 Sensors & Systems · ¹ 2.2011 теристик. <...> ПОСТАНОВКА ЗАДАЧИ Напомним, что МДП-сенсор представляет собой конденсатор <...>