Михайлов П. Г. Контроль и диагностика чувствительных элементов датчиков // Контроль. <...> Петр Григорьевич Михайлов — д-р техн. наук, профессор кафедры “Информационно-измерительная техника”; (8412) 31-64-44 Алексей Сергеевич Митрохин — аспирант кафедры “Вычислительная техника”. <...> 70-58-58 E-mail: a@mitrohin.su УДК 621.3.049.776.41 К содержанию МЕМБРАННЫЕ КОНСТРУКЦИИ НА ОСНОВЕ ОКСИДА ЦИРКОНИЯ КАК ПЛАТФОРМЫ ДЛЯ ЭЛЕМЕНТОВ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ1 Н. Н. Самотаев, Б. И. Подлепецкий, Ю. А. Воронов, В. Н. Игнатов, А. С. Липилин, А. А. Васильев, А. В. Писляков, А. В. Соколов, А. С. Лагутин Представлен новый подход к изготовлению мембранных конструкций, используемых в качестве носителя для различных типов элементов датчиков концентрации и потока газов. <...> Оригинальность подхода состоит в применении тонких мембран (толщиной ∼10 мкм), изготовленных на керамической основе из оксида циркония. <...> Достаточно низкая теплопроводность материала мембраны позволяет получать элементы, работающие при высокой температуре и потребляющие при этом небольшую мощность. <...> ВСТУПЛЕНИЕ Минимизация потребляемой электрической мощности является важной задачей при разработке мобильных газоаналитических приборов и систем на основе полупроводниковых, термокаталитических и электрохимических датчиков [1]. <...> В настоящее время одним из путей решения этой задачи представляется использование в газочувствительных датчиках мембранных конструкций, изготовленных с применением МЭМС-технологий [2, 3]. <...> В таких структурах радикальное уменьшение потребляемой мощности можно обеспечить за счет уменьшения теплоотвода от нагретого до 300.600 °C чувствительного элемента, распо1 Работа выполнена в рамках ФЦП “Научные и научно-педагогические кадры инновационной России” и совместного проекта “S3”, профинансированного 7-ой Рамочной программой Европейского Союза (грантовое соглашение 247768) и Министерством образования и науки Российской Федерации (Государственный <...>