УДК 621.372.412.681.883.65 УНИВЕРСАЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС НАСТРОЙКИ ЧАСТОТЫ КВАРЦЕВЫХ ГЕНЕРАТОРОВ И ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ФИЛЬТРОВ А. И. <...> Власов, В. А. Пустовалов Описано универсальное оборудование для настройки частоты кварцевых резонаторов и фильтров (КРиФ) в различных корпусах в диапазоне частот от 5 до 300 МГц с применением источника ионов. <...> Настройка частоты кристаллических элементов осуществляется методом ионного травления материала электрода. <...> Описан состав экспериментального стенда для проведения операции настройки частоты КРиФ. <...> Ключевые слова: ионный источник, плазменный пучок, настройка частоты, кварцевые резонаторы, пьезоэлектрические фильтры, универсальное оборудование, пьезоэлемент. <...> Благодаря высокой добротКварцевый резонатор (КР) — прибор, представляющий собой одну или несколько электромеханических резонансных систем пьезоэлектрического типа [2] (см. классификацию на рис. <...> Основными направлениями исследований и разработок пьезоэлектронных устройств продолжают оставаться [5]: — миниатюризация; — повышение долговременной, температурной, кратковременной стабильности частоты и основных параметров, а также их устойчивости к внешним радиационным, механическим и климатическим воздействиям; — повышение быстродействия (снижение времени выхода на заданный режим), уменьшение энергопотребления и т. д. <...> Однако самые распространенные отечественные проКварцевые резонаторы Назначение Генераторы Резонаторы Фильтры Датчики Сухой инертный газ Внутренний объем корпуса Вид колебаний пьезоэлемента Негерметизированный Герметизированный Вакуумный Число электромеханических резонансных систем Продольные колебания Колебания сдвига по толщине Колебания сдвига по контуру Атмосферный воздух Колебания изгиба Рис. <...> Классификация кварцевых резонаторов Sensors & Systems · ¹ 12.2014 1 2 3 • • • мышленные установки не имеют технической базы для настройки за один процесс КРиФ в разных корпусах. <...> В этих <...>