УДК 681.3.049.77.621.396.664 ОРГАНИЗАЦИЯ ВХОДНОГО КОНТРОЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ НА ПЛАСТИНЕ1 WAFEL-LEVEL CHARACTERIZATION SYSTEM FOR THE AUTOMATED TESTING OF MEMS SENSORS 1) Якимова Анна Васильевна магистрант, инженер E-mail: anna_yakimov@mail.ru 1, 2) Белогуров Алексей Александрович аспирант, мл. научн. сотрудник, магистр E-mail: alexbelogurow@gmail.com 1) Беляев Яков Валерьевич канд. техн. наук, доцент, нач. <...> НТЦ 1) АО “Концерн “ЦНИИ “Электроприбор”, Санкт-Петербург 2) Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург Аннотация: Показано решение задачи организации входного контроля чувствительных элементов микромеханических датчиков на пластине. <...> Описаны аппаратная и программная части комплекса по проведению зондовых измерений, а также основные проблемы, решенные при его разработке. <...> Ключевые слова: микромеханические датчики, чувствительный элемент, тестирование на пластине, зондовая станция. <...> Производство МЭМС представляет собой последовательный переход от полупроводниковой пластины к готовому изделию в корпусе. <...> State Research Center of the Russian Federation Concern CSRI Elektropribor, JSC, Saint Petersburg 2) Saint Petersburg Nationsl Research University of Information Technologies, Mechanics and Optics, Saint Petersburg Abstract: The article describes wafer-level characterization system design for MEMS sensors. <...> Проведение входного контроля на этапе пластины позволяет рассортировать чувствительные элементы (ЧЭ) с учетом их дальнейшего применения в микромеханических датчиках (ММД) разных классов точности, а также избежать затрат на корпусирование негодных чипов. <...> Для проведения входного контроля ЧЭ ММД на пластине, организованного в АО “Концерн “ЦНИИ “Электроприбор”, разработан программно-аппаратный комплекс (ПАК). <...> Процесс организации входного контроля показан на примере одноосного ЧЭ ММГ RR-типа разработки АО “Концерн “ЦНИИ “Электроприбор”. <...> В соответствии с техническими требованиями при входном контроле должны быть определены следующие параметры и характеристики. <...> Параметры <...>