105–114 УДК 621.793.184 ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА И МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ВАКУУМНО-ДУГОВЫХ ПОКРЫТИЙ СИСТЕМ Mo–Si–Al И Mo–Si–Al–N © 2017 г. И. В. Блинков*, А. В. Черногор, А. О. Волхонский, В. С. Сергевнин, Д. С. Белов, О. Н. Саргаева Национальный исследовательский технологический университет “МИСиС”, Россия, 119049 Москва, В-49, Ленинский пр., 4 *e-mail: biv@misis.ru Поступила в редакцию 15.03.2016 г. Методом ионно-плазменного вакуумно-дугового напыления получены наноструктурные покрытия Mo–Si–Al с однородным распределением равноосных зерен размером 8–12 нм и Mo–Si–Al–N с многослойной структурой и периодом модуляции 22–25 нм. <...> Покрытия систем Mo–Si–Al–N и Mo–Si–Al имеют твердость 41 и 18 ГПа соответственно при одинаковом сопротивлении упругой деформации и значительно большем сопротивлении покрытия Mo–Si–Al–N пластической деформации. <...> Покрытия обоих составов характеризуются высокой адгезией к основе и когезионным разрушением. <...> Их частичное истирание в процессе измерительного царапания происходит при нагрузках 80 и 63 Н соответственно для систем Mo–Si–Al и Mo–Si–Al–N. <...> Ключевые слова: ионно-плазменные покрытия, фазообразование, структура покрытий, твердость, износостойкость, жаростойкость, адгезия к основе DOI: 10.7868/S0002337X17010031 ВВЕДЕНИЕ На сегодня существует достаточно большое количество работ по изучению влияния алюминия на свойства дисилицида молибдена [1–6]. <...> Полученные данные свидетельствуют об улучшении свойств этой композиции по сравнению с дисилицидом молибдена. <...> Это обусловлено тем, что в MoSi2 связь Mo–Mo металлическая, а Mo–Si ковалентная. <...> Наличие заметной доли ковалентной связи делает материал хрупким. <...> Это приводит к высоким значениям напряжений в окалине, образующейся при окислении MoSi2, формированию трещин и уменьшению жаростойкости дисилицида молибдена. <...> Одновременно с этим жаростойкость этого материала ухудшается и из-за того, что в образующейся при окислении аморфной пленке SiO2 присутствуют кристаллиты этой фазы, создающие <...>