311–316 ПОВЕРХНОСТЬ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ УДК 539.26:548.73 ПРИМЕНЕНИЕ ЧАСТОТНО-ВРЕМЕННОГО ВЕЙВЛЕТ-АНАЛИЗА В РЕФЛЕКТОМЕТРИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК © 2017 г. С. Б. Астафьев, Б. <...> А.В. Шубникова ФНИЦ “Кристаллография и фотоника” РАН, Москва 1Московский государственный университет им. <...> М.В. Ломоносова E-mail: bard@crys.ras.ru Поступила в редакцию 28.04.2016 г. Рассмотрено применение частотно-временного вейвлет-анализа для решения обратной задачи рефлектометрии. <...> Показано, что при одновременном преобразовании интенсивности зеркального отражения в зависимости от угла скольжения и пространственной частоты возможно определение не только протяженности (толщины), но и порядка следования отдельных областей (слоев) с характерным поведением электронной плотности, что позволяет восстановить электронный профиль в поперечном сечении пленки в целом (решить обратную задачу рефлектометрии). <...> В качестве демонстрации применения частотно-временного преобразования рассмотрены примеры восстановления по данным рентгеновской рефлектометрии порядка чередования слоев в моделях двухслойных пленок с инверсным расположением слоев и четырехслойной пленки на твердой подложке. <...> Вейвлет-преобразование (ВП) – математическое интегральное преобразование, представляющее собой свертку сигнала с особой функцией, называемой вейвлетфункцией (или просто вейвлетом). <...> Сам термин вейвлет (wavelet – “короткая волна”, “всплеск”) ввели в своей статье Гроссманн и Морле в середине 80-х гг. <...> Если исходный сигнал представлен во временной области (в каждом конкретном случае параметры представления определяются типом задачи), то результатом ВП является двумерное распределение (частотновременное представление сигнала) вместо простого частотного, как в случае, например, фурьепреобразования. <...> Вейвлет имеет ряд определенных особенностей, из которых основными можно считать непрерывность, интегрируемость, наличие компактного носителя и локальность как во времени (в пространстве <...>