533–538 ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЯВЛЕНИЙ УДК 543.27 СЕНСОРНЫЕ СВОЙСТВА ОКСИДНЫХ ПЛЕНОК С ВЫСОКОЙ КОНЦЕНТРАЦИЕЙ ЭЛЕКТРОНОВ ПРОВОДИМОСТИ © 2017 г. М. А. Кожушнер*, В. Л. Боднева*, Т. В. Белышева*, В. Ф. Громов*,**, М. И. Иким*, Y. <...> Л.Я. Карпова”, Москва ***Applied Physics Department, Center for Nano-Science and Nano-Technology, The Hebrew University of Jerusalem, Israel Е-mail: kozhushner@gmail.com Поступила в редакцию 04.02.2016 г. Измерена зависимость сенсорного отклика на водород от температуры и давления водорода в наноструктурированной пленке оксида индия. <...> Развита теория сенсорного отклика на газы-восстановители в наноструктурированных полупроводниковых оксидах с большой концентрацией электронов в зоне проводимости (на примере In2O3). <...> Показано, что захват электронов проводимости адсорбированным кислородом вызывает перераспределение электронов в наночастицах, при этом приповерхностная плотность электронов уменьшается; проводимость в системе, пропорциональная плотности электронов в контактах наночастиц, т.е. приповерхностной плотности электронов, также уменьшается. <...> Установлено, что при адсорбции газов восстановителей (Н2, СО) ионы атомарного кислорода вступают с ними в реакцию, электроны освобождаются, и уходят в объем наночастицы; проводимость системы возрастает – сенсорный эффект. <...> С использованием разработанной ранее модели, описывающей распределение электронов проводимости в полупроводниковой наночастице, построена кинетическая схема, отвечающая описанной выше картине, и решены соответствующие уравнения. <...> В результате найдены теоретические зависимости чувствительности сенсора от температуры, которые неплохо описывают экспериментальные данные. <...> Ключевые слова: электроны проводимости, оксидные пленки, сенсорные свойства, полупроводниковые наночастицы DOI: 10.7868/S0044453717030153 К настоящему времени разработано большое число химических сенсоров на газы-восстановители (например, СО, Н2) [1–5]. <...> Чувствительный слой сенсора, как правило, представляет собой наноструктурированную <...>