30 УДК 534.4 : 621.317 СОВМЕЩЕНИЕ ЗАПИСЫВАЮЩЕГО ПУЧКА С ОСЬЮ ВРАЩЕНИЯ ДИФРАКЦИОННОЙ СТРУКТУРЫ ПРИ СИНТЕЗЕ ДИФРАКЦИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ В ПОЛЯРНОЙ СИСТЕМЕ КООРДИНАТ∗ Р. В. Шиманский, А. Г. Полещук, В. П. Корольков, В. В. Черкашин Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: shimansky@iae.nsk.su Разработан метод точного совмещения начала системы полярных координат, в которой задаётся положение лазерного пучка при записи дифракционных оптических элементов, с осью вращения оптической заготовки. <...> Этот метод использован для повышения точности работы круговой лазерной записывающей системы при записи крупногабаритных дифракционных оптических элементов в полярной системе координат. <...> Представлены результаты исследования новых алгоритмов определения и коррекции ошибок позиционирования круговой лазерной записывающей системы в процессе записи. <...> Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, лазерная запись, нанопозиционирование, определение оси вращения заготовки. <...> Дифракционные оптические элементы (ДОЭ) рассчитываются с помощью компьютера и изготавливаются в основном с использованием оптических или электроннолучевых устройств записи [1]. <...> Популярность ДОЭ обусловлена тем, что они позволяют преобразовывать исходный волновой фронт в волновой фронт практически любой заданной формы. <...> Дифракционная оптика предоставляет новые возможности для улучшения качества изображения, сокращения числа компонентов в оптической системе, снижения цены и веса прибора. <...> Дифракционные оптические элементы уже давно перешли из объекта научных исследований в разряд элементной базы фотоники [2, 3]. <...> В настоящее время их производством занимается ряд фирм, а некоторые типы ДОЭ предлагаются в каталогах [4] по «достаточно умеренным» ценам. <...> В последнее десятилетие электроника совершила качественный скачок в область наноразмеров, а ставшее ненужным оборудование с проектными <...>