60–63 ПЛАЗМОХИМИЯ УДК 661:533 ИЗУЧЕНИЕ НЕКОТОРЫХ ОСОБЕННОСТЕЙ ПРОЦЕССА ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТЕТРАФТОРИДА ГЕРМАНИЯ В ВЧИ И ВЧЕ РАЗРЯДАХ © 2017 г. Р. А. Корнев, П. Г. Сенников, Д. А. Конычев Институт химии высокочистых веществ им. <...> Тропинина, 49 E-mail: kornev@ihps.nnov.ru Поступила в редакцию 19.11.2015 г. Исследован процесс плазмохимической конверсии тетрафторида германия в высокочастотном (13.56 МГц) разряде. <...> Измерены зависимости выхода германия от удельного энерговклада, мольного соотношения H2/GeF4 и общего давления. <...> Максимальный выход германия составляет более 95%, Минимальные удельные энергозатраты при энерговкладе 9 МДж/моль составляют 9.4 МДж/моль, или 2.6 кВт ч/моль Ge. <...> Для реализованных экспериментальных условий предложен механизм плазмохимического восстановления тетрафторида германия. <...> DOI: 10.7868/S0023119316060073 Как известно, германий является одним из важнейших материалов современной электроники, широко применяемый для изготовления разнообразных устройств как в элементарной форме, так и в виде сплавов с кремнием [1]. <...> Основным способом получения высокочистого германия является метод химического осаждения из паровой фазы (CVD) его летучих соединений. <...> Еще одним газообразным при обычных условиях соединением германия является его тетрафторид GeF4. <...> С конца 70-х годов это вещество в смеси с силаном находит применение для получения высокоэффективных солнечных элементов и фотодетекторов на основе тонкопленочных структур a-SixGex : H : F методом поддерживаемого плазмой химического осаждения из паровой (газовой) фазы (PECVD) [4, 5]. <...> Кроме того, GeF4 служит основным “рабочим газом” в процессах центробежного обогащения фторида одним из пяти его изотопов [6]. <...> Выделение изотопов в элементарной форме возможно химическими методами, основанными на гидролизе обогащенного тетрафторида германия до оксида с последующим его восстановлением до элементарного германия, а также с помощью метода PECVD [7]. <...> Следует, однако, отметить, что собственно исследование <...>