Laser pattern generators with circular scanning: new opportunities traditional directions // Optical information measuring and laser technology and systems: a jubilee book of selected papers TDI SIE SB RAS. <...> Лазерный генератор изображений для синтеза микрорельефа дифракционных оптических элементов на трехмерных осесимметричных поверхностях // Автометрия. <...> Laser pattern generator for fabrication the microrelief of diffractive optical elements on 3D axisymmetric surfaces // Avtometriya. <...> Дифракционные элементы в оптических системах современной оптоэлектроники // Оптический журнал. <...> XI international scientific congress and exhibition (Novosibirsk, 20—24 April 2015): international scientific conference “SibOptics—2015”: а book of selected papers in 3 vol. <...> ] УДК 681.723.26:681.786.5 ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ МИКРОПРОФИЛОМЕТР OPTICAL INTERFERENCE MICROPROFILOMETER FOR HIGH SPEED MEASUREMENTS Сысоев Евгений Владимирович канд. техн. наук, вед. научн. сотрудник Е-mail: evsml@mail.ru Выхристюк Игнат Александрович зав. лабораторией Е-mail: uic@ngs.ru Куликов Родион Владимирович мл. научн. сотрудник Е-mail: rstalcker@ngs.ru Поташников Анатолий Кириллович канд. техн. наук, гл. научн. сотрудник Е-mail: potash@tdisie.nsc.ru Широков Василий Владимирович аспирант, мл. научн. сотрудник Е-mail: stewie89@mail.ru Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, г. Новосибирск 52 Sensors & Systems · ¹ 9-10.2015 Sysoev Evgeny V. <...> (Tech.), Chief Scientific Officer Е-mail: potash@tdisie.nsc.ru Shirokov Vasily V. Postgraduate, Associate Scientist Е-mail: stewie89@mail.ru Technological Design Institute of Scientific Instrument Engineering, Siberian Branch of the RAS, Novosibirsk city Аннотация: Представлена структура оптического интерференционного профилометра, позволяющего измерять микрорельеф поверхности на площади до 36 мм2 с субмикронным разрешением со скоростью сканирования по высоте не менее 20 мкм/с. <...> Принцип работы профилометра основан на использовании интерференции белого света. <...> Измерение рельефа производится посредством расчета фазовой функции волнового фронта света, рассеянного контролируемой поверхностью. <...> Приведены функциональные возможности и технические характеристики профилометра, а также рассмотрены возможные сферы его применения. <...> Для решения этих задач больше <...>