КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586'326 МАЛОГАБАРИТНЫЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ СТРУКТУР С ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ MINIATURE PRESSURE SENSORS BASED ON SOI PRIMARY TRANSDUCERS 1) Львов Алексей Арленович д-р техн. наук, профессор E-mail: alvova@mail.ru 2) Коновалов Роман Станиславович начальник конструкторского бюро E-mail: gtdnp@mail.ru 1) Саратовский государственный технический университет им. <...> А. И. Глухарева”, г. Энгельс-19 Аннотация: Рассмотрены конструкции датчиков давления с применением кремниевого чувствительного элемента на основе поликристаллических структур с диэлектрической изоляцией. <...> Приведен расчет разделительной мембраны для защиты чувствительного элемента от агрессивной рабочей среды. <...> Наиболее востребованы в авиационной технике датчики давления (ДД) для топливных и гидравлических систем. <...> Glukharev, OJSC, Engels-19 city Abstract: Construction of pressure sensors based on SOI primary transducers was reviewed. <...> Keywords: pressure sensor, primary transducer, diaphragm, polymethylsilicone fluid, current loop. датчиковой аппаратуры, является сохранение работоспособности и заданных технических характеристик ДД при воздействии различных дестабилизирующих факторов внешней среды (табл. <...> Предел основной погрешности измерения ДД при воздействии указанных в таблице факторов по требованиям разработчиков перспективных объектов авиационной техники в настоящее время составляет не более 0,15 % от верхнего предела измерения (ВПИ). <...> Разработка соответствующих указанным требованиям ДД, применяемых в силовых установках, гидравлических и топливных системах нового поколения, требует нового подхода к проектированию датчиковой аппаратуры. <...> Датчики и Системы · ¹ 8.2015 29 В настоящее время реализовано множество типов ДД, в которых использованы различные принципы преобразования абсолютного и избыточного давления измеряемой среды (пьезорезистивный, пьезоэлектрический, емкостной, резонансный и др.) в выходной сигнал. <...> Пьезорезистивный метод [1] преобразования <...>