ТЕОРИЯ И ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 62-527 ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ БАЗИС И КОНСТРУКТИВНО-КИНЕМАТИЧЕСКИЕ СХЕМЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ИНЕРЦИАЛЬНЫХ АВТОКОЛЕБАТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ THE THEORETICAL BASIS AND STRUCTURAL AND KINEMATIC SCHEMES OF MICROMECHANICAL INERTIAL SELF-EXCITED SENSORS Скалон Анатолий Иванович д-р техн. наук, профессор Е-mail: mechanics@aanet.ru Тыртычный Алексей Анатольевич канд. техн. наук, ассистент Аман Елена Эдуардовна аспирант Е-mail: anhelena7@gmail.com Карпиков Станислав Рудольфович аспирант Лукьяненко Ирина Николаевна канд. техн. наук, доцент Е-mail: irina.n.lukyanenko@gmail.com Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения, Санкт-Петербург Аннотация: В статье приведены основные теоретические сведения и результаты применения режима автоколебаний как основного принципа создания датчиков для систем управления подвижными объектами. <...> Представлены разработанные конструктивно-кинематические схемы датчиков, работающих в режиме автоколебаний. <...> ВВЕДЕНИЕ В настоящее время в рамках решения задачи импортозамещения возникла необходимость разработки отечественных микромеханических инерциальных датчиков для применения в системах управления высокодинамичными подвижными объектами. <...> Для реализации указанных требований при создании новых датчиков внедряДатчики и Системы · ¹ 7.2016 3 ются новые технологии, новые конструкционные, функциональные и интеллектуальные материалы, электронные, радиотехнические, электротехнические и др. компоненты. <...> Революционные изменения в области разработок датчиков произошли с внедрением микроэлектронных технологий, позволивших улучшить метрологические и конструкторско-эксплуатационные характеристики всех типов аппаратуры датчиков, особенно с точки зрения повышения надежности, уменьшения габаритов и массы. <...> Технология микроэлектромеханических систем (МЭMС) сохраняет преимущества микроэлектроники, заключающиеся в надежности, миниатюризации, многокомпонентности <...>