A@ 3URFHVV &RQWURO IRU WKH 5HILQLQJ DQG 3HWURFKHPLFDO KN@KJOГ 0RGHO 3UHGLFWLYH &RQWURO З ,QGXVWU\ ZZZ $3& QHWZRUN FRP KI=? <...> 0 3ENSING ELEMENTS OF GAS SENSORS 7KH SDSHU GHVFULEHV WKH GHVLJQ RI VHQVLQJ HOHPHQW IRU YDULRXV W\SH JDV VHQVRUV 2ULJLQDO GHVLJQV RI JDV VHQVLQJ HOHPHQWV DUH RIIHUHG DV ZHOO DV WKH PDQXIDFWXULQJ WHFKQRORJLHV -IKHAILOV 0 ' -IKHAILOV ! <...> 0 ECHNOLOGICAL METHODS FOR CONTROLLING ELECTROPHYSICAL CHARACTERISTICS OF MICROELECTRONIC SENSOR ELEMENTS AND STRUCTURES 7KH SDSHU GLVFXVVHV WKH FRQWURO WHFKQLTXHV IRU HOHFWURSK\VLFDO FKDUDF WHULVWLFV RI VWUDLQ VHQVLWLYH HOHPHQWV DQG VWUXFWXUHV 7HFKQRORJLFDO PHWKRGV WR VWDELOL]H VHQVRU SHUIRUPDQFH DUH GH VFULEHG 4SYBIZOV 0 . <...> 6 -URASHKINA 4 ) /UTPUT CHARACTERISTICS LINEARIZATION FOR REFLEXOMETRIC DISPLACEMENT TRANSDUCERS 7KH SDSHU RIIHUV D OLQHDUL]DWLRQ WHFKQLTXH IRU WKH RXWSXW FKDUDFWHULVWLF RI D UHIOH[RPHWULF GLVSODFHPHQW WUDQV GXFHU EDVHG RQ UHGXFLQJ OLJKW ORVVHV DW WKH HQG RI WKH PHDVXUHPHQW UDQJH DQG LQFUHDVLQJ WKHP DW WKH EHJLQQLQJ 3EREBRYAKOV $ ) +ARASEV . <...>
Датчики_и_системы._Sensors_&_Systems_№10_(77)_2005.pdf
mvmimsºpen
phpy mqpgmswgn
g~0yg{xyfsxmppen
v0ph|
0mfgm|g
j¿ ¾ §S¨Ì¸Í §Sµm̸¿¾ 3ks
l¨ }¨m }¾ Ô¨ ÕµS m¸¿¿ ¾¿ ¾
̸}S¨¿¾}¾ ¾ ͵¸Íµ¾}¾
|¸ m¸¿¿ ¯¨¿Õ iµ×¾} j¿m¸
k ¨Ö¾µÖ¾ l{z
l¾¿¾ ¸S m¨ ¿µ}¾ ¾ ¸¢¿¨Ì¨Ô¾ 3n
l¸»Õ¿µS¨Õ¿ v¨Ú¼ ͵ؾ¿¨ S¨¾¸Ì¸
||| v¸¿v¾iµ S¸Õµ}Ö¾
~PµÒµÒ²
µÉÖ s¥jµ
² ÔPµÒ»
µÉµ
g x ~P²¼Ñ»Õj»É»
0mfhwgypphº wy||m}gº
Ì S¸Õµ}¨S
g x ~²¼Ñ»Õj»É»
~µÍ ФМ S¸Õµ}¨Sµ p p w¹¼µÓ¥j²
|m ¸}S¸µSÙ
} i o²P²¼¥j²
Ì S¸Õµ}¨S jzk x w¼µÉɵ
c c rµµ¿ r¨¨m }¾¢ r j {¨Ì¨
¿¨m { k ¨Õ¼¾}¨m }¾ s j ¨S¸Ì¾}¨m
j i»µ¿Õ»Ôµmµ { i¨ÍSµ×¸m k s y¾
}¨m w jÖ}¨m¾× k n zµ§¸}¨ s l zS
¿¨ ¨m r j ¨Õ̸§¸Ö}¾ { { ¨Ì}¨m
s ¨¢¨¨m l { v¸¿¿ }¾ { { tµ ¾
}¨m k s b¾¿ v Öµ¾ j r ½Õ}¾¿
0m}gyph|bpem 0mfsyxme
z¥j¥Ò»
搯
s²¼z
~µ
µPPÑ
{ z¿¨SS¾¿Ô З
p»¸¼» p¥jÑ¥¥Ò
v l s¾}̾¿ З
mz²
µ»¼Ñ
k k zµÌÍ}¨m З
µÉ»¼z
j r¨S¾Ø§¨ÌÙ }¾ З
p¥j¥»»Pz
{ Ô З
w²¼¥z
{ µÚ}¨m З
w²¹²¼Ö
{ l v¨ÌÕµ}¾¿ З
~µ¼¹²
p k l¨}¨m З
l k u¸µ}¨m З
ÉÖ¼¥jz
j {¨ÌÔ¾¿ З
¬²
{ ¸m З
s²²¼z
{ k µ¿}¾¿ З
g¸µjz
{ k k̸} ¸¸m З
y欥
l z׸S¸¿}¨ З
yµÉ
{ j µmS¾} З
xɲһʻ
{ s Ú»µ¿¾¿¨m З
ɲ
{ ½ 3µ §¨§¨m З
x¥¥¼µ¸
{ z r¾Ú}¨m З
wz
{ v ¾¨m З
²Ê¥j
v { l¾¸¿}¨ З
|»¤µÓz
k z¼¿¸Ö¨m З
h
²²¼Ö
l n ~µS¾§¨m З
i»¼z
j v lµ¿µ} З
|Öj¥j
j j lµSÙͨmµ З
y¿µÌ m}ÌÚ׸¿ m ¸¸×¸¿Ù {kz rÚÌ̸¸¿Ù {kz
l¾¿¾ ¸ mµ ¨µ¼¨mµ¿¾ cn
hf0ms 0mfhwgg
v l¨ }mµ S¨¯ ¨Ú¼¿µ
¸Ì ¯µ}
KWWS GDWV\V VWDUQHW UX
( PDLO GDWFKLN#LSX UVVL UX
|S¾Ô¾¿µÌ ͵}¸ ¾ ̸}S¨¿¿µ m¸S ¾
§¨ÕÔ¨¨m̸¿ ||| w̸}¨¿¾¿¯¨Í
|§¸×µµ¿¨ m ¾§¨ÔSµ¯¾¾
||| wj pcsk
¨Õ§¾ µ¿¨ m §¸×µÙ
~µ}µ¼
yS¿µÌ ¼µS¸Ô¾ S¾S¨mµ¿
m z¨Í¾¸¸ 3n §¨ §¸×µ¾
vm¾Õ¸¸ÌÙ m¨ ¨ S¸Ô¾ SµÖ¾¾
¸Ì
}
i¥ÒÉ» /2*2 §¨Ô¨ §¨}¨Ì¸¿¾
f»¬¬¹»¥¼¼ Í¿¨Ô¨Ì׸m¨ µÙ¸
w¥µÉ¥Êµ
m¾¨µ} ¾×¸ }¾ ¸×¸¾ }µ¸ÌÙ
jing3goj lpot3pm~ bdtpnbtjibxj ¼ÉSöÁ ¸ ¼ÉSöÁ»
f¥¹¥Óµj x i w¼µÉɵ f x $3& З ¨m¸Ø¸¿ m¨mµ¿¿¨¸ §µm̸¿¾¸ ¸¢¿¨Ì¨Ô¾×¸
}¾Í¾ §¨Ö¸ µÍ¾
o»É»¥Ñ²¬»
~»Ñɲյ¼»µ } §¸Õ µm̸¿¾Ú Õ¨}̵ըm
jsq}tboj j sgrtjvjlbxj fbtyjlpd ptrbsmgd}g stbofbrt}
x¼µµ¼ m ¨ Õµ m¸¿¿ ¸¸ ¸Õ m ¾¼Í¸¸¿¾
#ONTENTS DQG DEVWUDFWV
r{°¦¶Ã¯»¦©Ã¯Ã»»©¬v©Ãuuuóps¯Ã´Ãp¶©v°°©Ãv·°©°Ã¯Ã©°¶º¯¯Ã
sµ¼s»f²
Г
£§´¥±
spfgrhbojg
lbvgfrg qrjcprpstrpgojg
qgoigoslpep epsufbrstdgoopep uojdgrsjtgtb ¨ Á»È
i²»¼»¼² | h i»²É¥j ~ } i»²É¥j h ~ m m¾¸ÌÙ¿¸ ̸͸¿ Ôµ¼¨m¢
¸¿ ¨¨m
i»²É¥j ~ } i»²É¥j h ~ ¸¢¿¨Ì¨Ô¾×¸ }¾¸ ͸¨Õ §µm̸¿¾ ̸}¨¯¾¼¾
׸ }¾Í¾ ¢µµ}¸¾ ¾}µÍ¾ ¸¿ ¨¿¢ ̸͸¿¨m ¾ } ;}¨Ì¸}¨¿¿¢ Õµ
×¾}¨m
»»¹¥j ~ p i»²É¥j ~ } i»²É¥j h ~ l¸¨Õ ¾ ¸Õ mµ ¯¿}Ö¾¨¿µÌÙ¿¨
Õ¾µÔ¿¨ ¾}¾ ¸¿ ¨¿¢ ̸͸¿¨m ¾ } ;}¨Ì¸}¨¿¿¢ Õµ×¾}¨m
o²Òµµj h x i²Õz»¼² g ¾¿¸µ¾¼µÖ¾ m¢¨Õ¿¢ ¢µµ}¸¾ ¾} ¸¯Ì¸} ¨Í¸
¾×¸ }¾¢ ¾¼Í¸¾¸ÌÙ¿¢ §¸¨µ¼¨mµ¸Ì¸ §¸¸Í¸¸¿¾
sµµz¥j f g w²²µj p º {¨Ì¨}¨¿¿¨ ¨§¾×¸ }¾ ¾Ô¿µÌ¾¼µ¨ ¨m¿ »¾Õ
}¨ ¾
gѼ²
¥j s h »»¹¥j ~ p µ¼¸¿¸ ¾¼Í¸¾¸ÌÙ¿¸ ¾ ¸Í
m¸Í¸¿¿¨ µ¼m¸}¨ ¾¿¸¯¸¸¿Ö¾¨¿¿¨Ô¨ §¨Ì
§¨ µ¿ m¸¿¿¨
o²¹z»¼ s p o²¹z»¼² p h ¨ µ¿ m¸¿¿¸ ¸§¸¿¸ ¨×}¾ m Ô¸¸¨Õ¾¿¿¢
̵¼¸¿¢ ¾¿¸¯¸¨Í¸µ¢
qĽºÆ¶¸Áµ»Â Ô·¾ÁµÆ¶
» {µ ¾ÌÙ¸m¾× Ô
tgprj j qrjoxjq} qpstrpgoj fbtyjlpd qrjcprpd j sjstgn
o²É²z»¼ s x s
µÉ»Ñ¥j f x z¨Í§ÙÚ¸¿¨¸ ͨո̾¨mµ¿¾¸ ¨ ¨¿¾ ¨m¿¸Í¸µ
¨§Ì¾mµ »¾Õ}¨ ¿¢ µ}¸
q»
¥j¥ h h v¿ ¯µ¼¨m ͸¨Õ ¾¼Í¸¸¿¾ ͵̢ }¨¨ ¸ ¾ §¸¸§µÕ¨m Õµm
̸¿¾ Ôµ¼¨m
o¥¼Ò²Ö f p i»²É¥j p p y»Ò»¼ x v¾ ¸Íµ µm¨Íµ¾¼¾¨mµ¿¿¨Ô¨ }¨¿¨Ì
µ §¸Õ¸Ì¸¿¾ ¨ ¨m¢ Õ¸¯¸}¨m ¿µ }¸Í¿¾¸m¢ §Ìµ ¾¿µ¢
lpostrujrpdbojg j qrpjidpfstdp fbtyjlpd qrjcprpd j sjstgn
mʵɻ¼ m x p»z¥É²µj g p s¥z¥É¥j h x m m¾¸ÌÙ¿¨ Ù li ¸¿ ¨¨m } ¨
Õ¸»µ¿¾Ú µ¼Ì¾×¿¢ Ôµ¼¨m m m¨¼Õ¢¸
µÉ»z¥jz» s y µÉ»z¥jz» y g s²¤µÉÖ¼»z¥j x i ¨m¸Ø¸¿ m¨mµ¿¿
µÌµÔͨ͸ ÕÌ ¨§¸Õ¸Ì¸¿¾ ͸»¯µ¼¿¨Ô¨ §¨m¸¢¿¨ ¿¨Ô¨ ¿µ»¸¿¾
s²j¥»¼ s g s¨m¸ m¨¼Í¨»¿¨ ¾ }¨¿¨Ì m̵»¿¨ ¾ Õ¸m¸ ¿¢ ͵¸¾µÌ¨m
w»»²z¥j x q |׻ʥj x x c¸Ô¾ µ¨ ͵Կ¾¨Í¸¾×¸ }¾¢ Õµ¿¿¢ ÕÌ ¿µ×¿¢
¾ ̸ըmµ¿¾
lÄÃÈÆÄÁÒ ÉÍ»È ¾ ƶÇÅÆ»º»Á»Ã¾» ¶Ȼƾ¶ÁÒÃÑË ¾ Óûƹ»È¾Í»ÇÀ¾Ë ÅÄÈÄÀĸ
h¼Òµµj g ~ ¨Õ¨} ¨¼Õµ¿¾ ¾ ¾ §µ¿¾ ¾ ¸Í ׸µ ¾ ¸¸»¸¿¾ ¿¸Ô¨¿¨
¾¸Ì¸ ¿µ §¨¨}¸
oĸѻ ÅÆ¾·ÄÆÑ
Стр.1