Исследования логического состояния интегральных микросхем методами атомной силовой микроскопии (60,00 руб.)

Первый автор	Тагаченков
Страниц	3

ID	572359
Аннотация	Проведены исследования по определению и анализу логического состояния ячеек памяти микроконтроллера без удаления пассивирующих покрытий с использованием методов атомно-силовой микроскопии. Выбрана эффективная оптимальная методика регистрации электрического потенциала на поверхности интегральных микросхем
УДК	620.18, 621.385.833, 621.3.04977.

Тагаченков, А.М. Исследования логического состояния интегральных микросхем методами атомной силовой микроскопии / А.М. Тагаченков // Вестник Московского университета. Серия 3. Физика. Астрономия .— 2010 .— №3 .— С. 60-62 .— URL: https://rucont.ru/efd/572359 (дата обращения: 04.05.2024)