УДК 537.534:539.422.24:620.178.152.34 ФОРМИРОВАНИЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЁВ АРМКОЖЕЛЕЗА, НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ И МЕДИ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ N+ И O+ ВОРОБЬЁВ В. Л., ГИЛЬМУТДИНОВ Ф. З., БЫКОВ П. В., БАЯНКИН В. Я. <...> В работе исследовано влияние имплантации ионов О+ и N+ в импульсно-периодическом режиме (f=100 Гц, t=1 мс) с энергией ионов 30 кэВ, плотностью тока в импульсе 3 мА/см2 и дозами облучения 1017 и 5·1017 ион/см2 на формирование состава наноразмерных поверхностных слоёв образцов армко-железа, нержавеющей стали Х18Н10Т и меди марки М0. <...> Показано, что формирование наноразмерных поверхностных слоёв ионной имплантацией определяется не только процессами физической природы, всегда сопровождающими облучение, но и химической активностью имплантируемых ионов к компонентам сплава. <...> КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА: ионная имплантация, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия, химический состав, наноразмерные поверхностные слои. <...> ________________________________________________________________________________ ВВЕДЕНИЕ Модификация структурно-фазового состояния поверхностных слоёв, в том числе наноразмерных, металлов и их сплавов различными физическими или химическими методами, в частности ионной имплантация, с целью повышения механических и эксплуатационных свойств относится к одному из направлений современной науки и техники [1 – 4]. <...> Метод ионной имплантации позволяет в десятки раз сократить время и температуру воздействия на материал, производить селективную обработку отдельных участков детали, а также имеется возможность автоматизировать процесс обработки. <...> Несмотря на исследования в этом направлении до сих пор остаются не выясненными процессы формирования поверхностных слоёв, в том числе наноразмерных, структурные механизмы их реализации и природа изменения различных свойств металлов и их сплавов в результате ионной имплантации. <...> В связи с этим цель настоящей работы – исследование формирования наноразмерных поверхностных слоёв металлических материалов ионной <...>