УДК 538.975:546.72:548.5 СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ СТРУКТУРЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕДИ И ЖЕЛЕЗА НА КРЕМНИЕВОЙ ПОДЛОЖКЕ С. Н. <...> Салтыков, А. А. Максименко, А. М. Ховив Воронежский государственный университет Поступила в редакцию 11.09.2009 г. Аннотация. <...> Изучено формирование пленок меди на кремниевой подложке и осуществлено сопоставление их характеристик с таковыми пленок железа. <...> Показано, что при напылении медь кристаллизуется в виде смеси двух кристаллографически различных модификаций с объемноцентрированной кубической ячейкой. <...> В ходе фотонного отжига осуществляется полная трансформация решетки одной из модификаций в другую с уменьшением межплоскостного расстояния. <...> Определены кристаллографические характеристики модификаций пленок меди до и после отжига. <...> Показано, что зерна-кристаллиты в структуре пленки после отжига объединяются в крупные образования на участках, отвечающих исходной кристаллографической модификации до отжига. <...> During photon annealing the complete transformation of cell is proceed and cleavage spacing is decreased. <...> Crystallographic parameters of copper fi lms modifi cations are determined before and after annealing. <...> It is shown that the grains in fi lm structure after annealing is combined to large formations on areas which correspond to initial crystallographic modifi cation before annealing. <...> Общеизвестно, что введение меди в небольших количествах в решетку ферритной составляющей сталей приводит к изменению температурного интервала аустенитно-перлитного перехода, определяющего свойства ферритной и перлитной составляющих, а также закалочных структур [2]. <...> Изучение системы Fe—Cu в тонкопленочном состоянии позволит полностью исключить влияние «третьих» элементов, неизбежно © Салтыков С. Н., Максименко А. А., Ховив А. М., 2009 54 присутствующих в макрообъекте, таких как углерод, растворяющийся в ОЦК-решетке железа без изменения ее параметров. <...> Ранее [3] нами было изучено строение пленок железа и показано его формирование в двух кристаллографических модификациях. <...> Целью настоящей работы является исследование особенностей строения пленок меди на кремниевой подложке в сравнении <...>