ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР В СИСТЕМЕ . <...> 77 79 ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЬ ФАЗОВЫХ ПРЕВРАЩЕНИЙ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР В СИСТЕМЕ ЦИРКОНИЙ ТИТАН СВИНЕЦ КИСЛОРОД И.Е. <...> Шрамченко Воронежский государственный университет Проведены экспериментальные исследования по определению взаимосвязи между условиями синтеза, термообработки и фазовым составом пленок, полученных методом магнетронного напыления на пластины монокристаллического кремния. <...> Исследованы температурно-временные закономерности формирования оксидных пленок на поверхности монокристаллического кремния, а также проведено изучение фазового состава полученных структур. <...> Формирование пленки цирконата-титаната свинца в процессе отжига тонкопленочной структуры Si/Zr,Ti/Pb, в которой пленки твердого раствора Zr-Ti получали из составной мишени, происходит при температуре 873 К. <...> Методом рентгенофазового анализа было установлено, что наряду с оксидами метал. лов в пленках образуется твердый раствор цирконататитаната свинца Pb(Zr0,47 Показано, что состав, структура тонких оксидных слоев исследуемых объектов зависят Ti0,53 от условий синтеза, отжига и концентрации компонентов. <...> ВВЕДЕНИЕ Тонкопленочные структуры на основе оксидов циркония, титана и свинца представляют значительный научный интерес. <...> Твердые растворы цирконата-титаната свинца (ЦТС) находят универсальное применение при создании интегральных схем любого назначения [1]. <...> Сегнетоэлектрические пленки ЦТС широко используют в микроэлектронике (например, энергонезависимых устройствах памяти). <...> В основе технологии получения тонкопленочных твердых растворов лежат различные методы: химическое осаждение из растворов и газовой фазы, золь-гель процесс, магнетронное напыление. <...> Для этого используют изотермический или быстрый термический отжиг при температурах от 473 до 1023 К [1-6]. <...> В качестве подложек используют различные материалы: платинизированные пластины кремния <...>