УДК 541.135 НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЯ АНОДНЫХ ОКСИДОВ МЕТОДОМ ДВУХСТУПЕНЧАТОГО АНОДИРОВАНИЯ ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ Э. С. <...> Маркарян Воронежский государственный университет Поступила в редакцию 06.06.2014 г. Аннотация: в работе проведено исследование процесса наноструктурирования анодных оксидов на алюминии методом двухступенчатого анодирования в щавелевом электролите и построены кинетические зависимости параметров роста оксида. <...> Объяснено наличие характерного перегиба на экспериментальных зависимостях временного поведения напряжения. <...> Сделаны попытки объяснения причины образования упорядоченной структуры в анодном оксиде алюминия. <...> В результате исследования структур методами растровой электронной микроскопии (РЭМ) и атомно-силовой микроскопии (АСМ) установлено, что в зависимости от условий анодирования возможно образование наноструктурированного оксида алюминия с различными размерами пор. <...> INVESTIGATION THE PROCESS OF NANOSTRUCTURING ANODIC OXIDES USING THE TWO-STEP ANODIZING E. <...> Markaryan Abstract: in this paper we investigated nanostructuring process on the anodic aluminum oxide by a two-step anodization in oxalic electrolyte. <...> Are given attempts to explain the reasons for the formation of ordered structures in anodic alumina. <...> Scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) techniques found by the study of structures that depends on the anodizing conditions, the formation of nanostructured alumina with different pore sizes. <...> ВВЕДЕНИЕ Пленки пористого оксида алюминия с высокой регулярностью ячеисто-пористой структуры находят все более широкое применение для формирования наноразмерных структур в электронных, магнитных и фотонных приборах [1]–[3] и поэтому являются предметом интенсивного изучения [4]–[6]. <...> Разрозненные результаты и различные методы формирования оксидных пленок требуют дополнительных исследований по установлению взаимосвязи роста и режимов анодирования алюминия. <...> . . Высокая степень упорядоченности и маломасштабная размерность ячеек оксида представляет интерес не только с точки зрения практического применения, но и в значительной степени с целью возможности управления и контроля получаемых пленок <...>