Естественные и технические науки, № 1, 2013 Энергетическое, металлургическое и химическое машиностроение Турбомашины и комбинированные турбоустановки Рыженков В.А., доктор технических наук, профессор Сидоров С.В., аспирант Тхабисимов А.Б., аспирант Качалин Г.В., кандидат технических наук, старший научный сотрудник Медников А.Ф., кандидат технических наук, ведущий инженер (Национальный исследовательский университет «МЭИ») ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА С ВЫСОКОМОЩНЫМ ИМПУЛЬСНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАЗРЯДОМ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗНОСОСТОЙКИХ ПОКРЫТИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ЭЛЕМЕНТОВ ТЕПЛОЭНЕРГЕТИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ В работе описываются физические особенности и перспективы применения высокомощного импульсного магнетронного разряда для синтеза функциональных износостойких покрытий. <...> Приводится описание установки для формирования покрытий с применением разряда данного вида. <...> THE TECHNOLOGICAL FACILITY WITH HIGH-POWER IMPULSE MAGNETRON DISCHARGE TO FORM WEAR-RESISTANT COATING ON THE SURFACE OF THE ELEMENTS OF HEAT-POWER EQUIPMENT The article describes the physical features and prospects of high power pulsed magnetron discharge for the synthesis of functional wear-resistant coatings. <...> Введение В процессе развития техники и технологий всё большее применение находят износостойкие покрытия различного назначения. <...> Наиболее перспективным способом формирования покрытий на поверхностях элементов оборудования, эксплуатируемого в условиях одновременного воздействия нескольких повреждающих факторов, являются ионно-плазменные технологии [1], основанные на магнетронном и дуговом способах распыления материала. <...> К основным преимуществам магнетронных распылительных систем (МРС) можно отнести: полное отсутствие микрокапель в генерируемой плазме; возможность синтеза нанокомпозитных структур при относительно низких температурах; высокая управляемость параметрами разряда. <...> Несмотря на все плюсы МРС, степень ионизации распылённого материала в плазме стационарного магнетронного разряда не столь высока, как при дуговом распылении. <...> 171 Естественные <...>