Естественные и технические науки, № 5, 2015 Кучерова В.Ю., кандидат технических наук, доцент Кабардино-Балкарского государственного университета им. <...> Х.М. Бербекова СИНЕРГЕТИЧЕСКОЕ УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ РОСТА ТОНКИХ ПЛЕНОК С ПОМОЩЬЮ МОДЕЛИ РЕЛЕЯ Разработана аналитическая процедура синергетического синтеза закона управления процессом роста тонких пленок из многокомпонентного пара с помощью модели Релея, обеспечивающего генерацию различных колебательных режимов изменения концентрации зародышей с возможностью варьирования частоты, амплитуды и формы колебаний. <...> Синтезированный закон управления способен существенно повысить эффективность управляемых процессов выращивания тонких пленок для различных технических приложений. <...> Ключевые слова: регулярные колебания, модель синтеза тонких пленок из многокомпонентного пара, управление, динамическая система, синергетика, обратная связь. <...> FOUNDATION OF SYNERGETIC THEORY IN THIN FILMS GROWTH CONTROL BASED ON RELEY MODEL Analytical procedure of synergetic synthesis for thin films growth from multicomponent vapour based on Reley model control law providing generation of various oscillation modes of germs concentration with possibility of frequency, amplitude and a vibration modes variation is developed. <...> Большое количество научно-практических сфер деятельности человека, такие как оптика, вычислительная техника, микроэлектроника на сегодняшний день активно используют тонкопленочные технологии. <...> Ряд ученых уделяет в своих исследованиях повышенное внимание механизмам образования и роста тонких пленок на твердых поверхностях [1-5]. <...> В большинстве случаев исходной средой их синтеза служит многокомпонентный пар [3]. <...> Кроме того, такие явления часто наблюдаются в фазовых переходах первого рода, которым сопутствует определенный класс явлений нелинейного характера, например, самоорганизация, колебательные режимы, формирование ударных волн [1]. <...> Целый класс химических взаимодействий сопровождается явлением обратной связи. <...> Еще более повысить степень сложности способен фазовый переход результирующего вещества. <...> Так, химическая <...>