УДК 621.002.5.025 В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, П.С. Кузнецов, С.В. Степанчиков (МИЭМ) E-mail: vacuumwa@ya.ru ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ УСТРОЙСТВ С БЕСКОНТАКТНЫМ МАГНИТНЫМ ВЗАИМОДЕЙСТВИЕМ В СОВРЕМЕННОМ СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОМ КОНТРОЛЬНО-ДИАГНОСТИЧЕСКОМ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ОБОРУДОВАНИИ Рассмотрены вопросы применения устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием в сверхвысоко вакуумном контрольнодиагностическом и технологическом оборудовании электронной техники. <...> Представлена ме тодика и результаты расчета устройств на привносимые загрязнения микрочастицами износа в контролируемой вакуумной среде. <...> Ключевые слова: бесконтактное магнитное взаимодействие, привносимые загрязнения, микрочастицы износа, контрольнодиагностическое оборудование. <...> Соответствующий пространственноэнер гетический анализ возбужденных спектров и масс спектров позволяет получить информацию практи чески обо всех основных микроскопических харак теристиках поверхности. <...> Технологические процессы производства изде лий электронной техники связаны с формировани ем поверхности. <...> При анализе поверхности активных материалов, не допускающих контакта с воздушной средой, а 44 также при изучении явлений адсорбции в оборудо вании могут встраиваться системы для нанесения адсорбата. <...> Эти системы, а также системы для очист ки поверхности анализируемых объектов можно вынести во вспомогательную камеру, соединенную с основой через загрузочное шлюзовое устройство. <...> Для быстрой смены объектов в камерах без нарушения вакуум ных условий применяются загрузочные шлюзовые устройства. <...> Особенностью применения различных механиче ских систем в современном сверхвысоковакуумном оборудовании является учет привносимых загрязне ний, генерируемых из узлов внешнего трения. <...> 2011 В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, П.С. Кузнецов, С.В. Степанчиков "Особенности применения устройств." вакуумного контрольнодиагностическо го и технологического оборудования <...>