М АШИНО СТРОИТЕЛЬ www.mashizdat.ru Вьюгинов В.Н., канд. физ.-мат. наук, директор ЗАО «Светлана-Электронприбор» Гудков А.Г., д-р техн. наук, профессор МГТУ им. <...> Н.Э.Баумана Добров В.А., начальник отдела ЗАО «Светлана-Электронприбор» Кудряшова Т.Ю., старший преподаватель СПбПУ Мещеряков А.В., канд. техн. наук, доцент СПбПУ Усыченко В.Г., д-р физ.-мат. наук, профессор СПбПУ Шашурин В.Д., д-р техн. наук, профессор, заведующий кафедрой «Технологии приборостроения» МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана МЕТОДИКА И АППАРАТУРА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ НИЗКОЧАСТОТНОГО ШУМА Описаны основные принципы работы стенда для измерения низкочастотных шумов полупроводниковых приборов в условиях производства. <...> Представлена структурная схема установки для измерения низкочастотных шумов полупроводниковых изделий. <...> Предложена методика, позволяющая проводить экспресс-анализ шумов приборов, находящихся на поверхности полупроводниковой пластины, и оценивать качество материала, из которого изготавливают полупроводниковый прибор. <...> Представлена ВАХ GaN транзистора на SiC подложке после 15 часов работы, его энергетические спектры шумов тока стока и вывод о качестве GaN-материала, из которого изготовлен транзистор. <...> (Eng.), professor of BMSTU Dobrov V.A., head of department of CSC Svetlana-Electronpribor Kudryashova T.Ju., senior lecturer of SPbPU Mescheryakov A.V., Ph.D. <...> (Eng.), professor, head of department «Technology of Instrument Engineering» of BMSTU Vidyakin S.I., post-graduate student of BMSTU Chizhikov S.V., assistant of BMSTU METHOD AND EQUIPMENT FOR MEASURING OF LOW-FREQUENCY NOISE The main operating principles of stand for the low-frequency noise measuring of semiconductor devices are described. <...> The structural scheme of device for the low-frequency noise measuring of semiconductor devices is described. <...> The method, allowing to carry out a express-analysis of low frequency noise transistors, lying on the surface of the semiconductor wafer, and to evaluate the quality of material used for production of semiconductor <...>