№ 6 ХИМИЧЕСКАЯ ФИЗИКА, ФИЗИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА И ФИЗИКА ПЛАЗМЫ Параметры плазмы в ВЧ индуктивном двухкамерном источнике малой мощности при наличии внешнего магнитного поля А. К. Петровa , К. В. Вавилин, Г. П. Козлов, Е. А. Кралькина, П. А. Неклюдова, А.М. Никонов, В. Б. Павлов Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра физической электроники. <...> В настоящей работе представлены результаты исследования параметров плазмы в высокочастотном (ВЧ) индуктивном двухкамерном источнике плазмы, помещенном во внешнее магнитное поле. <...> В ходе экспериментов было обнаружено резонансное поглощения ВЧ-мощности в зависимости от величины магнитного поля, а также соответствие локальных максимумов поглощения ВЧ-мощности локализованным в пространстве максимумам концентрации электронов. <...> Сопоставление результатов экспериментов с результатами численных расчетов дало основания полагать, что резонансный характер разряда связан с возбуждением пространственных мод связанных геликонных и косых ленгмюровских волн. <...> Введение В настоящее время в литературе [1–7] большое внимание уделяется исследованию индуктивного ВЧ-разряда, помещенного во внешнее магнитное поле. <...> Большой интерес к исследованию разряда вызван, во-первых, возможностью получения плотной плазмы при невысоких энергозатратах, что востребовано в большом количестве практических приложений, а во-вторых, многообразием физических процессов, протекающих в разряде. <...> Босвеллом [1] в 1970 г. Исследуя структуру и прохождение волн в плазме в диапазоне частот 7–10 МГц, Босвеллу и его коллегам удалось получить плазму с концентрацией порядка 1013 см−3 на оси источника диаметром 10 см при ВЧ-мощности, не превосходящей 1 кВт [8–11]. <...> Высокая концентрация плазмы, полученная при относительно небольших ВЧ-мощностях, поставила вопрос о механизме поглощения ВЧ-мощности плазмой. <...> Он показал, что в плазме могут возбуждаться бегущие волны — геликоны <...>