Схема установки плазменной обработки с НЧ-генератором 3. <...> В грубом приближении установка с таким генератором есть не что иное, как известная всем микроволновая печь. <...> То есть если бы в домашней микроволновке можно было создать вакуум и подать внутрь ее газ, то при включении нагрева был бы получен тлеющий разряд. <...> Особенностью микроволнового генератора (как и бытовых микроволновок) является невозможность напрямую обрабатывать металлические предметы. <...> Но эта проблема была решена, когда образцы стали помещать в клетку Фарадея, изолируя их от СВЧ электромагнитного поля. <...> Такая конструкция позволяет ионизировать газ в СВЧ-поле и затем доставлять его к обрабатываемой поверхности (ионы плазмы свободно проходят через клетку Фарадея). <...> Основная область применения таких генераторов — быстрое удаление с подложек толстых слоев органических материалов, в частности позитивных и негативных фоторезистов. <...> Схема установки с СВЧ-генератором представлена на рис. <...> Как видно на схеме, ввод электромагнитного излучения производится через специальное кварцевое окно. <...> Схема установки плазменной обработки с СВЧ-генератором Теперь, зная особенности и специфику всех типов генераторов, можно рекомендовать следующее. <...> При производстве интегральных микросхем и других микроэлектронных устройств для очистки и подготовки подложек без нанесенных функциональных слоев или установленных бескорпусных компонентов, а также для очистки корпусов электронных компонентов перед герметизацией и активации контактных площадок перед микросваркой оптимальным решением является использование НЧгенератора. <...> Для очистки и подготовки подложек с нанесенными функциональными слоями или установленными бескорпусными компонентами рекомендуется использовать ВЧ-генератор. <...> Также лучше приобретать установку плазменной обработки с данным генератором и в том случае, если требуется обеспечить наиболее широкое технологическое окно, которое <...>