Технологии в электронной промышленности, № 4’2016 Диагностика ультразвуковых колебательных систем в установках микросварки Рассмотрены методики и устройства бесконтактной диагностики ультразвуковых колебательных систем в установках ультразвуковой и термозвуковой микросварки, обеспечивающие согласование преобразователя с микроинструментом в резонансном режиме работы. <...> Игорь Петухов petuchov@kbtem.by Владимир Ланин vlanin@bsuir.by Введение Прогрессирующая микроминиатюризация электронных компонентов и создание функционально сложных микроэлектронных устройств, в частности 3D интегральных микросхем и многокристальных модулей, выявили ряд проблем при формировании микросварных соединений. <...> При микросварке данных изделий крайне важно обеспечить большое количество (от 100 до 1000) надежных проволочных межсоединений, учитывая разновысотность уровней между компонентами и малые размеры контактных площадок активных структур, что обусловлено высокой степенью интеграции. <...> При формировании микросварных соединений высокой плотности размеры контактных площадок на кристалле сокращаются до 5555 мкм с шагом между ними 20–30 мкм. <...> Столь малые габариты приводят к необходимости использовать проволоку соответствующего диаметра (17–25 мкм), а это предъявляет особые требования к настройке параметров ультразвуковых (УЗ) колебательных систем [1]. <...> Формирование микросварных соединений высокой плотности на кристаллах интегральных схем предусматривает прецизионную работу УЗ-систем микросварки. <...> Электрические колебания от генератора преобразуются ультразвуковым преобразователем (УЗП) в механические колебания на частоте резонанса УЗП, которые должны без потерь передаваться в зону сварки проволочных выводов. <...> Для этого необходим точный контроль параметров УЗС микросварки и оптимальное согласование рабочего инструмента с УЗП. <...> Сложность согласования заключается в том, что УЗП с инструментом представляет собой электромеханическую <...>