Технологии в электронной промышленности, № 5’2016 Плазменная обработка поверхности подложек и прочность сварных соединений Статья, основанная на результатах исследований, рассматривает эффективность применения технологии атмосферной плазмы перед операцией ультразвуковой микросварки золотой проволокой на золотых подложках. <...> Автор дает ответ на вопрос, насколько предварительная обработка подложек атмосферной плазмой влияет на качество сварочных соединений. <...> Юлия Борисова lum@eurointech.ru Вступление Микросварка проволочных перемычек — это один из наиболее критичных процессов производства ИС. <...> Качество поверхности контактной площадки значительно влияет на прочность сварочного соединения, что, в свою очередь, воздействует на надежность всей ИС. <...> Оксидный слой на поверхности контактной площадки — один из факторов, от которого зависит качество получаемых сварных соединений. <...> Так, толстый оксидный слой приводит к снижению прочности соединений или даже отсутствию электропроводности. <...> Экспериментальный и контрольный образцы ность проволочных перемычек, — наличие органических загрязнителей и атмосферных слоев на контактной поверхности подложки. <...> Плазма позволяет физически и химически удалять оксидную пленку с поверхности, а также микрочастицы загрязнений и примесей [1, 2]. <...> Кроме того, плазменная обработка устраняет атмосферные слои и активирует поверхность. <...> Ионы плазмы разрывают межмолекулярные связи в приповерхностном слое материала контактной площадки, тем самым повышая его адгезию (рис. <...> Плазменная обработка как метод очистки поверхности предпочтительнее, чем жидкостная обработка, поскольку не требует присутствия растворителей. <...> Однако очищенные плазмой образцы должны быть как можно скорее переданы для ультразвуковой сварки во избежание накопления атмосферных слоев и, как следствие, повторного окисления и загрязнения поверхности. <...> В статье было исследовано влияние обработки поверхности <...>