40 УДК 535.8 Получение ориентированных тетраэдрических углеродных фуллеренов методом магнетронного распыления С. В. Виноградов, М. А. Кононов, В. М. Кононов Методом магнетронного распыления углерода в вакууме получены образцы пленок, состоящих из ориентированных тетраэдрических фуллеренов на стеклянной подложке с буферным слоем из нитрида циркония ZrN. <...> Методом атомно-силовой микроскопии получены изображения тетраэдрических фуллеренов на подложке. <...> Введение В последнее время наиболее распространенным способом получения углеродных пленок остается электродуговой. <...> В его основе лежит процесс электродугового распыления графитового анода в атмосфере гелия. <...> Используются также термическое и лазерное напыления [1, 2], а также метод, основанный на распаде углеродосодержащих газов над поверхностью металлического катализатора. <...> Однако магнетронный метод распыления имеет ряд своих существенных преимуществ: высокая скорость осаждения, чистота пленок, возможность получения серий пленок с хорошо воспроизводимыми характеристиками [3]. <...> Целью данной работы была демонстрация возможностей магнетронного метода распыления для получения образцов пленок, состоящих из ориентированных тетраэдрических фуллеренов на стеклянной подложке с буферным слоем из нитрида циркония ZrN. <...> Характеристики установки В данной работе для приготовления пленок использовалась модернизированная вакуумная установка на базе ВУП-4, оснащенная магнетроном на постоянном токе. <...> В качестве мишени использовался чистый углерод, а именно, графит марки МПГ-7. <...> На установке напылялись углеродные пленки на подложки из стекла с поверхностью, обрабоВиноградов Сергей Владимирович, научный сотрудник. <...> E-mail: mike@kapella.gpi.ru Статья поступила в редакцию 24 апреля 2015 г. © Виноградов С. В., Кононов М. А., Кононов В. М., 2015 танной по оптическому классу, и подслоем ZrN (нитрид циркония). <...> ZrN наносился в качестве буферного слоя методом магнетронного напыления при распылении <...>