УДК 621.793.7 © В.И. Богданович, В.А. Барвинок, А.Н.Кирилин, В.Г. Небога,А.И. Китаев, В.С. Молчанов ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЭЛЕКТРОНАГРЕВАТЕЛИ С НАНОСТРУКТУРНЫМ РЕЗИСТИВНЫМ СЛОЕМ Изложены результаты исследования удельного электрического сопротивления наноструктурных покрытий из ряда сплавов и металлов, полученных конденсацией вакуумных ионно-плазменных потоков на полиимидных плёнках. <...> Уточнена методика определения этого параметра с учётом шероховатости реальных покрытий. <...> Показано, что удельное электрическое сопротивление таких покрытий в (3-8) раз превышает удельное электрическое сопротивление материала покрытия, но в состоянии металлургической поставки. <...> Проведённые исследования позволили разработать технологию изготовления тонкоплёночных электронагревателей для системы терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов. <...> Ключевые слова: тонкоплёночный электронагреватель, резистивный слой, вакуумные ионноплазменные покрытия, удельное электрическое сопротивление. <...> При решении прикладных задач проведения высокоточных измерений и обработки информации в космическом и околоземном пространстве требуется долговременная эффективная работа специальных систем терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов [1]. <...> Разработка некоторых видов таких систем терморегулирования потребовала создания технологии изготовления высоконадёжных гибких малогабаритных (30Ч100 мм, 30Ч200 мм) электронагревателей с потребляемой электрической мощностью в пределах 2-15 Вт, рабочим напряжением до 30 В, температурой нагрева до 50-150°С и гарантированным ресурсом работы не менее 50 тыс. часов в условиях открытого космического пространства. <...> Анализ существующих технологий изготовления электронагревателей показал, что их изготовление размещением и креплением на изолирующей основе резистивного слоя в виде металлической проволоки или фольги приводит к низкой технологичности, а для ряда видов нагревателей <...>