УДК 621.385.833 МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЙ СТАДИИ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ ОСТРИЙ СТМ-ЗОНДОВ ТЮРИКОВ А. В., ШЕЛКОВНИКОВ Е. Ю., ГУЛЯЕВ П. В., ЖУЙКОВ Б. Л., ЛИПАНОВ С. И. <...> В статье рассмотрены вопросы моделирования электрохимического этапа изготовления зондирующих острий сканирующего туннельного микроскопа. <...> Разработанная модель электрохимического травления опирается на процессы, описываемые уравнениями математической физики, при этом учитываются гидродинамические, тепловые и диффузионные процессы, а также распределение потенциала электрического поля, обеспечивающего протекание на заготовке иглы электрохимической реакции. <...> Показано, что параметры этой реакции существенно влияют на форму «шейки» заготовки СТМ-зондов. <...> КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА: сканирующий туннельный микроскоп, зондирующее острие, электрохимическое травление, потенциал электрического поля, процессы электро- и массопереноса. <...> Однако, острота ЗО является не единственным существенным критерием для игл, поскольку их макроскопическая форма существенно влияет на характеристики СТМэксперимента, выполняющегося с разрешением, близким к атомному [4]. <...> Идеальная макроскопическая форма зонда позволяет избежать значительных колебаний кончика острия, приводящих, в наиболее неприятных случаях, к резонансным колебаниям, что существенно влияет на качество и разрешение СТМ-изображений. <...> В работах, проводимых в Институте механики УрО РАН, показано, что наиболее перспективным при изготовлении атомарно острых СТМ-зондов является сочетание электрохимического и химического травлений, при котором макроскопическая форма ЗО формируется электрохимическим способом, а атомарная острота достигается при последующем химическом дотравливании. <...> Такое сочетание обусловлено значительной скоростью электрохимической реакции, что позволяет достаточно быстро формировать «шейку» заготовки иглы, которая затем медленно перетравливается химическим способом <...>