Физико-химические свойства и применение мезогенных производных фенилбензоата, азо- и азоксибензолов с полярными терминальными заместителями. <...> УДК 537.525 Д.Б. Мурин, А.М. Ефремов, В.И. Светцов, С.А. Пивоваренок, А.А. Овцын, С.С. Шабадаров ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА С АРГОНОМ И ГЕЛИЕМ (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: efremov@isuct.ru, svetsov@isuct.ru, dim86@mail.ru Проведено исследование влияния аргона и гелия на интенсивности излучения линий и полос и концентрации активных частиц в плазме хлористого водорода в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> Посредством математического моделирования произведен расчет коэффициентов скоростей возбуждения и концентрации электронов. <...> Ключевые слова: плазма, излучение, интенсивность, возбуждение, концентрация, хлористый водород ВВЕДЕНИЕ Неравновесная плазма галогенводородов, в том числе и HCl, находит применение при проведении плазмохимического травления ряда металлов и полупроводников, в частности соединений типа AIIIBV [1, 2]. <...> При диссоциации молекул HCl в разряде в качестве первичных продуктов образуются атомы водорода и хлора, а во вторичных процессах – молекулы Cl2 и H2 [3, 4]. <...> Основными химически активными частицами, обеспечивающими взаимодействие плазмы HCl с обрабатываемой поверхностью, являются атомы хлора. <...> Роль атомов водорода сводится, в основном, к восстановлению поверхностных оксидов [5]. <...> В технологии плазменного травления большое распространение получили смеси химически активного и инертного (Ar, He) газов. <...> Введение инертного газа не только позволяет продлить срок службы откачных систем и уменьшить выброс токсичных веществ в атмосферу, но в ряде случаев может приводить к увеличению скорости процесса [6]. <...> До настоящего времени взаимосвязи интенсивностей излучения и концентраций активных частиц в системах HCl-Ar и HCl-He не изучены. <...> Целью данной работы являлось <...>