УДК 543.428.3 ОЦЕНКА СТРУКТУРНОГО СОСТОЯНИЯ ТОНКИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АМОРФНЫХ СПЛАВОВ КАНУННИКОВА О.М., ГОНЧАРОВ О.Ю., ЛАДЬЯНОВ В.И. <...> Исследована зависимость формы концентрационных профилей элементов от структурного состояния тонких (<10 нм) поверхностных слоев аморфных сплавов. <...> Показано, что искажения формы концентрационных профилей, обусловленные различием коэффициентов распыления разных элементов и различием коэффициентов распыления одного элемента в составе разных химических соединений и фаз, позволяет получать дополнительную информацию о структурном состоянии тонких поверхностных слоев аморфных сплавов. <...> Аморфным поверхностным слоям соответствуют монотонные профили, а закристаллизованным – осциллирующие. <...> ВВЕДЕНИЕ Исследование концентрационных профилей распределения элементов по глубине поверхностного слоя – одна из наиболее распространенных задач рентгеноэлектронной спектроскопии. <...> Для последовательного удаления поверхностных слоев используется бомбардировка ионами инертных газов (аргона) в сверхвысоковакуумной камере спектрометра. <...> При этом основное внимание обращалось на факторы, искажающие истинную форму профилей и на изменение химического состояния компонентов. <...> В числе причин искажения формы концентрационных профилей – различие коэффициентов распыления компонентов чистых элементов и их соединений. <...> Коэффициенты распыления элементов в составе соединений определяются характером межатомной связи. <...> Так, например, коэффициенты распыления нитридов выше, чем чистых металлов и выше, чем у соответствующих боридов, несмотря на то, что подрешетки у них одинаковы [1]. <...> Такая зависимость коэффициента распыления от химического состояния элемента приводит к тому, что при ионной бомбардировке многокомпонентного сплава должна наблюдаться неравномерность травления и фазы с меньшими коэффициентами травления будут присутствовать в виде выступающих неровностей, создавая <...>