РАДИОЭЛЕКТРОНИКА 103 УДК 621.382 Исследование фоточувствительных структур на основе PbS методом оже-электронной спектроскопии И. Б. Варлашов, П. В. Митасов, И. Н. Мирошникова*, Б. Н. Мирошников, Х. <...> С. Х. Мохамед Проанализированы результаты исследований фоточувствительных структур фоторезисторов на основе PbS методами оже-электронной спектроскопии и растровой ионной микроскопии. <...> Показана зависимость состава фоточувствительных структур и фотоэлектрических параметров от метода получения пленок. <...> Впервые экспериментально получено и теоретически обосновано появление второй фазы (цианамида свинца и ацетата свинца) в составе химически осажденной пленки на основе сульфида свинца. <...> В работах [1, 2] описаны результаты исследований фотоэлектрических параметров и структуры фоточувствительных слоев (ФЧС) на основе PbS методами энергодисперсионного микроанализа, атомно-силовой, растровой и просвечивающей электронной микроскопии. <...> Применяемый ранее метод энергодисперсионного микроанализа (Energy-dispersive X-ray spectroscopy — EDXS) на приборе Bruker AXS Microanalysis GmbH Berlin, Germany при ускоряющих напряжениях 5 — 15 кВ обеспечивал детализацию химических компонентов (Pb, S, O, а в физических ФЧС, кроме того, был обнаружен Na). <...> Однако анализ мог производиться лишь интегрально и не позволял судить о распределении химических элементов по толщине ФЧС. <...> В настоящее время известны несколько различных методов (технологий) формирования ФЧС на основе PbS [3], большая часть из которых обеспечивает примерно одинаковые (высокие) фотоэлектрические параметры фотоприемников. <...> Их можно разделить на две группы: «физические», подразумевающие обязательный высокотемпературный нагрев (до 800 К) на воздухе после термического осаждения пленок в вакууме, * MiroshnikovaIN@mpei.ru и «химический», при котором химически осажденные на диэлектрическую подложку слои высокотемпературному нагреву не подвергались. <...> В публикации [4] с помощью оже-электронного микроанализа в физических ФЧС <...>