МИКРО- И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА MICRO AND NANOSYSTEM TECHNOLOGY УДК 681.586.7 Емкостные датчики на основе нанотрубных суперконденсаторов Р.А. Браже, А.Ф. Савин Ульяновский государственный технический университет Capacitance-Type Sensors Based on Natotubular Supercapacitors R.A. <...> Savin Ulyanovsk State Technical University Предложена конструкция емкостного датчика, которая при сохранении высокой чувствительности позволяет сделать существенно миниатюрнее его чувствительный элемент – конденсатор. <...> С этой целью использованы суперконденсаторы на электропроводящих и диэлектрических нанотрубках. <...> Представленные расчеты показывают принципиальную возможность создания основанных на этом принципе емкостных датчиков давления и перемещения с чувствительностью на 5–6 порядков выше, чем у датчиков на классических углеродных нанотрубках. <...> Датчики пригодны для применения в медицине, робототехнике и наноэлектронике. <...> For this purpose the super-capacitors on the electroconductive and dielectric nanotubes are used. <...> The presented results show the principle opportunity of creating based on its principle capacitance sensors of pressure and displacement with 5 – 6 orders higher sensitivity than those ones based on the classical carbon nanotubes. <...> Емкостные датчики, в частности датчики давления и перемещения, получили широкое распространение в различных системах управления и контроля. <...> Актуальной задачей является уменьшение их геометрических размеров для встраивания в Р.А. Браже, А.Ф. Савин, 2016 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 1 2016 55 Р.А. Браже, А.Ф. Савин объект измерения и использования в медицине, экологии, робототехнике, наноэлектронике. <...> В качестве материала для чувствительных элементов таких датчиков предлагается использовать углеродные нанотрубки (УНТ), имеющие уникальные механические, электрические, тепловые и химические свойства [1–3]. <...> Наиболее простое устройство подобного типа – датчик микронапряжений, представляющий собой тензорезистор из хаотически ориентированных одностенных УНТ в полимерной пленке [1]. <...> Чувствительность датчика давления (перемещения) можно значительно повысить, если гибкую электропроводящую <...>