УДК 621.382 Формирование углеродных нанотрубок на пленке аморфного сплава Ni25Ta58N17 методом химического осаждения из газовой фазы Д. <...> Рыгалин1 1Национальный исследовательский университет «МИЭТ» 2Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН (г.Москва) 3НПК «Технологический центр» (г.Москва) 4ФГУП «НИИ Физических проблем им. <...> Ф.В.Лукина» (г.Москва) Formation of Carbon Nanotubes on Film of Amorphous Alloy Ni25Ta58N17 by Method of Chemical Deposition from Gas Phase D.G. <...> Rygalin1 1National Research University of Electronic Technology, Moscow 2Institute of Nanotechnology Microelectronics of RAS, Moscow 3SPC «Technological Center», Moscow 4Research Institute of Physical Problems of F.V.Lukina, Moscow Продемонстрирована возможность роста углеродных нанотрубок методом химического осаждения из ацетилена при температуре процесса 400–800 С на поверхности металлической пленки аморфного сплава Ni–Ta–N c низким содержанием никеля (~25 ат. <...> %). Показано, что добавление азота в состав сплава Ni–Ta способствует образованию нитрида тантала и выдавливанию на поверхность кластеров никеля, выступающих в роли катализатора при росте углеродных нанотрубок. <...> В результате исследования с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния получено, что при повышении температуры процесса синтеза качество нанотрубок улучшается. <...> The possibility of the synthesis of carbon nanotubes by the method of chemical deposition of acetylene at 400-800 °C temperature on the surface of a metal film of amorphous alloy Ni–Ta–N with low nickel content (~ 25 at.%) has been demonstrated. <...> It has been shown that an addition of nitrogen into the NiTa alloy promotes the formation of tantalum nitride and extrusion on the surface of the nickel clusters, acting as a catalyst in the growth of carbon nanotubes. <...> The Raman spectroscopy has revealed that while increasing the temperature of the synthesis process the quality of the <...>