УДК 681.321 Применение модифицированного уравнения Гиббса для задач исследования отказов изделий микросистемной техники С.П. Тимошенков, В.Н. Горошко, Б.М. Симонов, В.З. Петрова Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Application of Modified Gibbs Equation for Studies on Failures of Microsystem Technology Products S.P. <...> Petrova National Research University of Electronic Technology, Moscow С позиций статистической термодинамики проведен анализ механизмов отказов и процессов химической кинетики, определяющих надежность изделий микросистемной техники. <...> Впервые предпринята попытка использовать модифицированное уравнение Гиббса в форме Семенченко для задач исследования механизмов отказов изделий. <...> Функционирование элементов и компонентов ИС, изделий МСТ (микросистемной техники), включая МЭМС (микроэлектромеханические приборы и системы), зависит, главным образом, от таких необратимых явлений, как электро- и теплопроводность, диффузия, окисление, т.е. определяется неравновесными процессами. <...> Для исследования динамики их протекания во времени используют методы аппроксимации, поскольку компоненты являются сложными системами, состоящими из разных материалов. <...> Это особенно актуально для таких изделий МСТ, как МЭМС-преобразователи. <...> Рассмотрим эволюцию готового элемента МСТ от состояния «годен» до состояния «не годен». <...> Такое превращение требует преодоления определенного энергетического барьера [1] (рис. <...> Минимальный уровень энергии, необходимый для перехода элемента из состояния р1 в состояние р, энергия активации Ea процесса. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 1 2016 Применение модифицированного уравнения Гиббса… скую, тепловую, химическую, электрическую, магнитную или другую природу. <...> Если состояние р1 является минимально возможным уровнем энергии данной системы, а компонент соответствует состоянию «годен», то состояние р соответствует неустойчивому равновесию системы, а компонент предотказовому состоянию; р2 отвечает состоянию «отказ» компонента. <...> Допустим, что имеется <...>