УДК 004.94+62-529 Анализ методов разбраковки на основе 3D-рендеринга в технологическом процессе производства изделий микроэлектроники Л.Г. Гагарина, П.А. Федоров Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Analyze of examination methods based on 3D-rendering in technological process production of microelectronic devices L.G Gagarina, P.A. <...> Fedorov National Research University of Electronic Technology, Moscow Представлены результаты анализа методов разбраковки на основе 3Dрендеринга в технологическом процессе производства изделий микроэлектроники. <...> The results of analyzing the examination methods based on 3D rendering in the technological process of the microelectronics items production have been presented. <...> Методы разбраковки на основе 3D-рендеринга предполагают значительное увеличение скорости и повышение точности обработки результатов анализа нарушений технологического процесса производства изделий микроэлектроники. <...> Также такая программная реализация позволяет эффективно встроить ее в автоматизированные системы контроля (АСК) [1], что позволяет повысить степень автоматизации процесса производства в целом и ускорить анализ причин отклонения от технологического процесса. <...> В настоящей работе осуществлена формализация проблемы реализации непредвзятого 3D-рендеринга с целью повышения достоверности измерений при анализе нарушений технологического процесса производства. <...> Как известно, любое графическое представление объектов 3D-сцены в связи с ограниченностью вычислительных ресурсов является приближенным решением специального интегрального уравнения – «уравнения рендеринга»: Lout p w Lemmited p w + BRDF p w w' Ldirect p wi )cos(n w') N ( , ) N i 0 1 Л.Г. Гагарина, П.А. Федоров, 2016 Известия вузов. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 1 2016 91 BRDF p w w Lindirect p wi ) cos(n wi ) P wDF( ) ( , ) i 0 ( , , L ( , , i ) i ( , ) ( , , , , (1) Краткие сообщения где Lemmited(p,w) – количество энергии света, излучаемого из точки p в направлении вектора w; BRDF(p,w,w') – двунаправленная функция отражательной способности поверхности, которая <...>