КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ BRIEF REPORTS УДК 681.121.832 Моделирование зависимости выходных характеристик первичного преобразователя датчика потока мембранного типа от его конструктивных параметров Н.А. Дюжев, М.А. Королёв, М.В. Катеев, Е.Э. Гусев Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Проведено моделирование первичного преобразователя скорости потока газа мембранного типа на основе калориметрического принципа работы. <...> Проанализированы результаты численного моделирования различных вариантов конструкции датчика с точки зрения максимальной чувствительности, которые позволяют найти оптимальные конфигурацию и расположение теплового сенсора. <...> Simulation of Dependence of Output Characteristics of Membrane Type Primary Flow Sensor Converter on Its Design Parameters N.A. <...> Several options of the sensor construction have been considered. <...> The results of numerical modeling for different variants of the sensor design in terms of the maximum sensitivity have been analyzed. <...> The results permit to find the optimal for the moment the thermal sensor configuration and location. <...> Среди широко применяемых микроэлектромеханических систем (МЭМС) отмечается измеритель потока газов на основе первичного преобразователя, использующего калориметрический метод. <...> Одна из основных частей первичного преобразователя чувствительный элемент, представляющий собой мембрану с расположенными на ней двумя датчиками температуры и находящимся между ними нагревателем. <...> Поток газа изменяет распределение температуры и создает разницу в показаниях, которая пропорциональна скорости этого потока. <...> При этом чем больше разница в показаниях терморезисторов при определенной скорости потока, тем выше чувствительность прибора. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 6 2015 Краткие сообщения В работе [1] подробно описан датчик потока подобного типа, разработана математическая модель прибора и проведено моделирование, которое позволило определить изменение профиля распределения тепла вдоль мембраны в зависимости от скорости потока, влияние расстояния между терморезисторами, толщины и материала мембраны на характеристики первичного преобразователя <...>