76 ФОТОЭЛЕКТРОНИКА УДК 621.383 Микросхема КМОП-фотоприемника видимого диапазона формата 12801024 с размером ячейки 1313 мкм Д. В. Бородин, Ю. В. Осипов, В. В. Васильев Разработана, изготовлена и исследована матричная микросхема фотоприемника, предназначенная для приема оптического сигнала в диапазоне длин волн 0,4—1,0 мкм, его преобразования в электрический сигнал и вывода в аналоговом виде на 1, 2, 4, 8 или 16 выходов. <...> Основные параметры: зарядовая емкость до 200 тыс. электронов; частота кадров максимального формата более 600 Гц; интегральная чувствительность до 1000 В/(лк с). <...> Введение Твердотельные фотоприемники за последние 15—20 лет все быстрее эволюционируют от ПЗС-схем со специфической, ограниченной для широкого использования технологией к КМОПфотоприемникам, производимым по близким к стандартным технологиям на множестве кремниевых фабрик [1—6]. <...> Если в ПЗС-схемах коммутируются пакеты зарядов в теле кристалла и преобразуются в напряжение только на выходном устройстве, то в фотоКМОП-схемах с активной ячейкой такое преобразование заряда в напряжение происходит в каждой ячейке фотоматрицы (т. е. фактически нет переноса заряда), и на выход коммутируются по металлизированным шинам уже напряжения. <...> Управление опросом массива ячеек от встроенного цифрового блока обеспечивает гибкость и многофункциональность процесса вывода информации, адаптацию его под конкретную задачу. <...> Однако для таких приборов требуются многовыводные (100 и более выводов) корпуса, а для размещения АЦП в столбцах приходится использовать технологию с нормами проектирования не более 0,18 мкм и 6 слоями металлизации [7, 8]. <...> В то же время фотоячейки размером более 9—10 мкм могут быть реализованы по КМОПтехнологиям уровня 0,35—0,6 мкм с 3—4 слоями металлизации, что делает такие разработки более экономически доступными [9]. <...> Кроме того, разрядность внешнего АЦП не ограничивается характерными для столбцовых АЦП 10—12 битами, а уменьшение рассеиваемой <...>